公开(公告)号：CN113340452A

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202110509106.4

申请日：2021-05-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 苏淑靖 ,  任婷 ,  郝艳阳 ,  许福佳 ,  张丽丽 ,  梁东飞 ,  梁文科 ,  赵雪鹏 ,  邢震震 ,  裴永浩 ,  冯成林

IPC: G01K11/00 ,  G01K1/12 ,  G01K13/08

Abstract: 本发明属于微波传感器技术领域，公开了一种基于改进型CSRR‑SICW的无线无源高灵敏度高温传感器，包括基片集成圆波导，所述基片集成圆波导包括介质基底层，介质基底层的上、下表面分别设置有上金属表面和下金属表面，内部设置有多个贯穿介质基底层上下表面的侧壁金属圆柱，所述侧壁金属圆柱沿圆周方向分布；上金属表面上刻蚀形成有呈开口圆环状的第一缝隙和第二缝隙，第一缝隙位于第二缝隙外侧，形成改进型互补开口谐振环。本发明通过在介质基底层上设置金属圆柱，形成谐振腔；与传统的CSRR结构相比，可以更加灵活的调整谐振腔的谐振频率。本发明的平均测试灵敏度大约提高了1倍，450℃‑1000℃高温内的测试灵敏度大约提高了3倍。

公开(公告)号：CN113340452B

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202110509106.4

申请日：2021-05-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 苏淑靖 ,  任婷 ,  郝艳阳 ,  许福佳 ,  张丽丽 ,  梁东飞 ,  梁文科 ,  赵雪鹏 ,  邢震震 ,  裴永浩 ,  冯成林

IPC: G01K11/00 ,  G01K1/12 ,  G01K13/08

Abstract: 本发明属于微波传感器技术领域，公开了一种基于改进型CSRR‑SICW的无线无源高灵敏度高温传感器，包括基片集成圆波导，所述基片集成圆波导包括介质基底层，介质基底层的上、下表面分别设置有上金属表面和下金属表面，内部设置有多个贯穿介质基底层上下表面的侧壁金属圆柱，所述侧壁金属圆柱沿圆周方向分布；上金属表面上刻蚀形成有呈开口圆环状的第一缝隙和第二缝隙，第一缝隙位于第二缝隙外侧，形成改进型互补开口谐振环。本发明通过在介质基底层上设置金属圆柱，形成谐振腔；与传统的CSRR结构相比，可以更加灵活的调整谐振腔的谐振频率。本发明的平均测试灵敏度大约提高了1倍，450℃‑1000℃高温内的测试灵敏度大约提高了3倍。