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公开(公告)号：CN107085015A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710232914.4
申请日：2017-04-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题，提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法，传感器包括介质基底，介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容，叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧，且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连，叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜，介质基底的另一侧设置温度测试线圈，温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理，利用无线无源的方法进行测量，提高了测量的稳定性，降低了功耗，利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化，便于加工，成本低廉。
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公开(公告)号：CN107421654A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710187106.0
申请日：2017-03-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/36
Abstract: 本发明属于温度传感器技术领域，为解决现有温度传感器无法准确测量超高温环境下的温度参数的技术问题，提供了一种超高温无源薄膜温度传感器及其制作方法，包括介质基底和平面螺旋电感，平面螺旋电感位于介质基底的一侧，平面螺旋电感存在寄生电容，平面螺旋电感与寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明传感器利用LC谐振原理无线方式获得信号，同时将铂金属印制于高纯度氧化铝陶瓷基底上，极大的扩展了高温下温度的测试范围，本发明无需外加电源、能远距离非接触式遥测读取信号，能满足高温恶劣环境及密闭环境下的温度测量，而且本发明传感器比传统的LC传感器结构简单，更容易制备，降低了制造成本低。
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公开(公告)号：CN107421654B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710187106.0
申请日：2017-03-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/36
Abstract: 本发明属于温度传感器技术领域，为解决现有温度传感器无法准确测量超高温环境下的温度参数的技术问题，提供了一种超高温无源薄膜温度传感器及其制作方法，包括介质基底和平面螺旋电感，平面螺旋电感位于介质基底的一侧，平面螺旋电感存在寄生电容，平面螺旋电感与寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明传感器利用LC谐振原理无线方式获得信号，同时将铂金属印制于高纯度氧化铝陶瓷基底上，极大的扩展了高温下温度的测试范围，本发明无需外加电源、能远距离非接触式遥测读取信号，能满足高温恶劣环境及密闭环境下的温度测量，而且本发明传感器比传统的LC传感器结构简单，更容易制备，降低了制造成本低。
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公开(公告)号：CN107085015B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201710232914.4
申请日：2017-04-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，为解决现有气体传感器稳定性差、重复使用率低及需要电源供电导致传感器寿命年限短、不能在高温工作的技术问题，提供了一种无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法，传感器包括介质基底，介质基底的一侧设置气体测试电感线圈和叉指电容，叉指电容设置在气体测试电感线圈的内侧，且叉指电容与气体测试电感线圈的内圈相连，叉指电容表面附着GO/In2O3气敏薄膜，介质基底的另一侧设置温度测试线圈，温度测试线圈与其自身存在的寄生电容形成一个LC谐振回路。本发明结构简单合理，利用无线无源的方法进行测量，提高了测量的稳定性，降低了功耗，利于实现气体、温度双参数传感器的一体化、微型化，便于加工，成本低廉。
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