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公开(公告)号：CN119803310A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510091251.3
申请日：2025-01-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于位移传感技术领域，具体涉及一种基于光学杠杆放大效应的双层差分光栅位移传感器，激光扩束镜设置在激光器的光路方向上，上层光栅设置在激光扩束镜的光路方向上，下层光栅设置在上层光栅光路方向上，物镜设置在下层光栅的光路方向上，探测器设置在物镜的光路方向上。本发明相较于传统光栅位移传感器，可实现光学位移在空间上的放大，放大倍数>5倍。受益于该差分结构的输入位移放大效应，可以使用大周期光栅和大像素尺寸CCD的情况下实现高分辨率，解决了传统高分辨光栅泰伯像式位移传感器对光栅周期、CCD像素尺寸高要求的问题，在机械定位和半导体制造等领域具有广阔的应用前景。
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