公开(公告)号：CN116411257A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202310274811.X

申请日：2023-03-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 王慧奇 ,  毕婷 ,  张鋆哲 ,  王美 ,  王立勇 ,  刘磊 ,  范向前 ,  胡胜亮

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/28 ,  C23C16/458 ,  C23C16/455 ,  C01B35/02

Abstract: 本发明为一种化学气相沉积制备硼烯的反应室结构及其制作方法，属于二维薄膜制备技术领域。本发明反应室结构包括第一刚玉圆柱管，第一刚玉圆柱管内设置有反应装置和沉积装置，反应装置采用刚玉舟，沉积装置包括第二刚玉圆柱管，第二刚玉圆柱管内设置有自支撑叠加结构，自支撑叠加结构由下层基底、中层基底和上层基底组成。本发明反应室结构设计科学、结构巧妙、制作简单、使用方便，实现了在不增加其它支架或条件辅助的情况下直接有效地提高硼烯产量的目的。通过本发明反应室结构来制备硼烯，最终可以在三层基底上制备出大尺寸的硼烯片，并且下层基底、中层基底和上层基底上的硼烯形貌结构一致。

公开(公告)号：CN116411257B

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202310274811.X

申请日：2023-03-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 王慧奇 ,  毕婷 ,  张鋆哲 ,  王美 ,  王立勇 ,  刘磊 ,  范向前 ,  胡胜亮

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/28 ,  C23C16/458 ,  C23C16/455 ,  C01B35/02

Abstract: 本发明为一种化学气相沉积制备硼烯的反应室结构及其制作方法，属于二维薄膜制备技术领域。本发明反应室结构包括第一刚玉圆柱管，第一刚玉圆柱管内设置有反应装置和沉积装置，反应装置采用刚玉舟，沉积装置包括第二刚玉圆柱管，第二刚玉圆柱管内设置有自支撑叠加结构，自支撑叠加结构由下层基底、中层基底和上层基底组成。本发明反应室结构设计科学、结构巧妙、制作简单、使用方便，实现了在不增加其它支架或条件辅助的情况下直接有效地提高硼烯产量的目的。通过本发明反应室结构来制备硼烯，最终可以在三层基底上制备出大尺寸的硼烯片，并且下层基底、中层基底和上层基底上的硼烯形貌结构一致。