公开(公告)号：CN104297949A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410416956.X

申请日：2014-08-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  李艳娜 ,  张文栋 ,  梁庭 ,  韦丽萍 ,  王飞 ,  王永华

IPC: G02F1/035

CPC classification number: G02F1/035

Abstract: 本发明为一种基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器，包括高Q环形谐振系统，在其环形波导上取周长的一部分覆盖制作双层石墨烯薄膜调制系统，双层石墨烯薄膜调制系统包括底层电介质层、底层石墨烯、中间电介质层和顶层石墨烯，在顶层石墨烯和底层石墨烯之间加入电压V(t)。本发明调制器集成了石墨烯宽带吸收、载流子迁移率高等材料优势和高Q值环形光学谐振腔的光程放大的结构优势，在增加调制深度的同时，通过缩减石墨烯面积来减小RC延迟的方式增加最大调制频率，从而解决目前直波导石墨烯调制器中存在的调制深度和调制带宽此消彼长的两难问题。预期实现的3dB带宽可达100GHz以上。