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公开(公告)号：CN114739281A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210338681.7
申请日：2022-04-01
Applicant: 中北大学
Inventor： 谭秋林 , 张磊 , 董和磊 , 李美朴
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明公开一种电容式应变传感器及其制备方法，涉及应变传感器领域。该电容式应变传感器包括通过导线连接的电容模块和电感模块，电容模块由下至上依次包括绝缘薄膜衬底、叉指电极及氮化铝压电薄膜。本发明可有效提高应变检测的灵敏度，而且该传感器具有结构简单，成本低的优点。
