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公开(公告)号：CN115682953A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211328871.7
申请日：2022-10-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于光栅反射与四台阶反射镜的位移传感器，包括光源、半透半反镜、一维光栅、台阶反射镜和四象限探测器，所述半透半反镜设置在光源的光路方向上，所述一维光栅设置在半透半反镜的光路方向上，所述台阶反射镜设置在一维光栅的光路方向上，所述四象限探测器设置在半透半反镜的反射光路上。本发明利用纳米光栅自成像效应，通过检测半透半反镜输出光强的变化情况，实现光学信号的A、B相光学信号输出，进而减小电学细分的难度，实现高灵敏度的位移测量。并且本发明无需偏振片、半波片等附件光学元件，显著简化了测量结构、降低了器件成本，利于实现结构微型化与集成化应用。
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