公开(公告)号：CN108562381B

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201810237762.1

申请日：2018-03-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  吕文 ,  董和磊 ,  张磊 ,  吉耀辉 ,  张彤 ,  熊继军

IPC: G01K17/20

Abstract: 本发明用于高温环境下测量热流的薄膜传感器及其制作方法，属于薄膜传感器技术领域；所要解决的技术问题是提供了提升热流传感器灵敏度，在高温环境中稳定工作和实现热电势信号稳定读取的工艺简单的薄膜传感器；解决该技术问题采用的技术方案为：本传感器包括微米级陶瓷基底、热电偶堆、上温度梯度隔离层、下温度梯度隔离层、正极引出电极和负极引出电极，正极引出电极和负极引出电极印刷在引出电极基底上，热电偶堆印刷在热电偶堆基底上，热电偶堆包括多对正极和负极热电偶，多对热电偶首尾相连，循环环绕串联；本发明还提供上述传感器的制作方法；本发明可广泛应用于温度梯度测量领域。

公开(公告)号：CN108562381A

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201810237762.1

申请日：2018-03-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  吕文 ,  董和磊 ,  张磊 ,  吉耀辉 ,  张彤 ,  熊继军

IPC: G01K17/20

Abstract: 本发明用于高温环境下测量热流的薄膜传感器及其制作方法，属于薄膜传感器技术领域；所要解决的技术问题是提供了提升热流传感器灵敏度，在高温环境中稳定工作和实现热电势信号稳定读取的工艺简单的薄膜传感器；解决该技术问题采用的技术方案为：本传感器包括微米级陶瓷基底、热电偶堆、上温度梯度隔离层、下温度梯度隔离层、正极引出电极和负极引出电极，正极引出电极和负极引出电极印刷在引出电极基底上，热电偶堆印刷在热电偶堆基底上，热电偶堆包括多对正极和负极热电偶，多对热电偶首尾相连，循环环绕串联；本发明还提供上述传感器的制作方法；本发明可广泛应用于温度梯度测量领域。