公开(公告)号：CN118534385A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410572358.5

申请日：2024-05-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 马宗敏 ,  刘俊 ,  唐军 ,  王珲 ,  温焕飞 ,  郭浩 ,  李中豪 ,  李鑫 ,  郑斗斗 ,  张庆礼 ,  王国政 ,  曾德超

IPC: G01R33/032 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明公开一种芯片级弱磁信息探测的系综NV色心金刚石传感器，涉及纳米技术与量子技术领域，该传感器包括：弱磁信息感知结构和数字化控制电路。弱磁信息感知结构包括：上层封装壳、弱磁信息感知结构层和下层封装壳。弱磁信息感知结构层包括：收集结构、金刚石微波天线光栅一体化结构、PCB印刷电路板和光电探测器。数字化控制电路包括：微波信号发生模块，用于将微波信号发送至金刚石微波天线光栅一体化结构；光电探测器，用于采集金刚石微波天线光栅一体化结构产生的荧光信号，并将荧光信号转换为电流信号；电流信号用于计算磁信号。本发明将MEMS工艺与系综NV色心金刚石弱磁测量技术相结合，能够实现微弱磁场的精准探测。