公开(公告)号：CN117647270A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311601098.1

申请日：2023-11-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 辛晨光 ,  张一超 ,  张梦迪 ,  马霄琛 ,  李孟委

IPC: G01D5/38 ,  G01D5/347 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明属于位移传感与精密定位技术领域，具体涉及一种基于微纳光栅泰伯像非均匀二次调制的光栅编码器，所述激光器的光路方向上设置有准直扩束器，所述准直扩束器的光路方向上设置有上层结构，所述上层结构的光路方向上设置有下层结构，所述下层结构的光路方向上设置有阵列探测器。本发明利用微纳光栅泰伯像原理，通过检测双层结构透过光强变化，实现读数头精确定位。一方面，采用简单共轴光路实现位置测量，无需反射镜、偏振片等附件光学元件，简化器件结构、提高集成度；另一方面，利用多个编码标记非均匀排布的方式，结合增量位移信息反演位置信息，无需全码道编码，降低编码设计难度。

公开(公告)号：CN120027706A

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202510174802.2

申请日：2025-02-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 张一超 ,  辛晨光 ,  王立晋 ,  李孟委 ,  辛志杰

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/353 ,  G01D11/24 ,  G01D11/30

Abstract: 本发明属于位移测量技术领域，具体涉及一种封闭式透射光栅自成像大量程位移传感器，包括尺壳体和读数头，所述尺壳体与读数头连接，所述读数头包括传动机构和测量机构，所述传动机构与测量机构连接，所述尺壳体包括光栅传感器外部壳体和计量光栅夹持装置，所述传动机构和测量机构均设置在光栅传感器外部壳体内，所述计量光栅夹持装置设置在光栅传感器外部壳体内，所述计量光栅夹持装置的沟槽内设有计量光栅。本发明通过利用双线性导轨结构紧凑，运动平稳，产生的振动小，点面接触，摩擦阻力小，可以进行细微的运动，实现控制装置等的高精度定位的特点。