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发明公开
一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置审中-实审

公开(公告)号：CN119618573A

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202411871361.3

申请日：2024-12-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 , 颜兵 , 邵智聪 , 陈旭彬 , 庞昕玥

IPC: G01M11/02 , G01M11/04

Abstract: 本发明属于光学薄膜激光损伤测量技术领域，公开了一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置，本发明基于测量激光损伤过程中表面热反射率的变化来确定光学薄膜激光损伤阈值的方法。在激光辐照过程中，薄膜表面的温度将发生变化，薄膜表面的热反射率会随着表面温度的变化而变化；在激光损伤过程中，薄膜表面温度会急剧增大，因此，薄膜表面的热反射率也会急剧增大，通过测量薄膜表面反射率的相对变化情况，来确定光学薄膜激光损伤阈值。本发明可以快速实时地确定光学薄膜的激光损伤阈值。

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