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公开(公告)号：CN109507454A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811317187.2
申请日：2018-11-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明原子力显微镜针尖技术领域，公开了一种测量晶面作用力原子力显微镜针尖的制备方法，将纳米晶或微晶利用超声分散到无水乙醇中，然后将一滴分散好的液体滴于单晶硅片表面，室温下干燥后将单晶硅片和商品原子力显微镜针尖固定到扫描电子显微镜样品台后置于扫描电子显微镜内，在其表面喷涂Pt保护层，利用聚焦离子束在晶体旁边进行切割，利用聚焦离子束对商品针尖进行切割，利用微探针将新针尖放置到商品针尖的空洞中，最后利用聚焦离子束把微晶表面的Pt保护层去除即可得到最终的针尖，本发明利用聚焦离子束法制备了可以测量各种纳米晶或微晶相互作用的原子力显微镜探针，几乎可以附着任何固体颗粒到针尖，应用范围非常广泛。
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