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公开(公告)号：CN118112536A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410247150.6
申请日：2024-03-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于激光测量技术领域，具体涉及一种基于自混合干涉的微型激光雷达装置及其测量方法，包括微型激光测距装置、第一光束、光束偏转装置、第二光束和目标物体，微型激光测距装置包括叠层光电探测器、隔离层、可调谐VCSEL和微透镜。测量方法为：可调谐VCSEL顶端发出的扫频激光经过后续元件，照射至目标物体上发生反射，反射光原路回馈至可调谐VCSEL谐振腔内，形成自混合外差干涉信号；回馈光场与腔内光场发生自混合干涉的调制光场被叠层光电探测器接收并解调，得出目标的距离信息；对目标物体空间多点距离测量，并校正光束偏转装置扫描角度带来的距离测量增量。本发明基于自混合干涉技术，可实现收发一体化的高精度高灵敏度距离测量。
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