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公开(公告)号：CN108548608A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810352311.2
申请日：2018-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明一种3D直写式氧化铝陶瓷薄膜热流传感器及其制作方法，属于薄膜热流传感器技术领域；提供了电势信号与灵敏度高、响应时间短、能在高温环境中稳定工作和实现热电势信号稳定读取的3D直写式氧化铝陶瓷薄膜热流传感器及其制作方法；技术方案为：一种3D直写式氧化铝陶瓷薄膜热流传感器，包括上温度梯度隔离层、上热电偶堆、正极引出电极、连接件、微米级陶瓷基底、下热电偶堆、负极引出电极和下温度梯度隔离层，微米级陶瓷基底的上表面设有3D打印生成的上热电偶堆，上热电偶堆的上方涂有上温度梯度隔离层，微米级陶瓷基底的下表面设有3D打印生成的下热电偶堆，下热电偶堆的上方涂有下温度梯度隔离层；本发明可用于温度梯度测量领域。
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