公开(公告)号：CN119880125A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510370013.6

申请日：2025-03-27

Applicant: 中北大学

Inventor： 耿文平 ,  刘娟 ,  丑修建 ,  乔骁骏 ,  李晓黄 ,  王学文 ,  贺浩然 ,  张慧毅 ,  李稼禾 ,  汪子涵 ,  杨凌霄

IPC: G01H11/08

Abstract: 本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法。为了解决现有技术中的振动传感器存在灵敏度较低的问题，故提供了一种新的单端自由的复合悬臂梁振动传感器，包括边框、中心质量块、四个H型悬臂梁以及连接梁，每个H型悬臂梁均由两个主梁和副梁组成，每个H型悬臂梁的两个主梁均与中心质量块的对应边平行布置，每个连接梁的一端均与对应的H型悬臂梁的其中一个主梁的中部外侧垂直连接，四个连接梁的另一端分别与中心质量块的四个角部连接，四个H型悬臂梁的一端部分别与边框的四条边垂直连接，主梁上均布置有功能电极。本发明所述的振动传感器具有更高的灵敏度。