一种高温热流传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116773051A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310737237.7

    申请日:2023-06-20

    IPC分类号: G01K17/16

    摘要: 本发明涉及一种热流传感器,特别是涉及一种高温热流传感器,包括热沉体、热流检测元件以及导热盖,所述热流检测元件嵌入设置在位于所述热沉体顶部的凹槽内,并通过布置所述凹槽中且位于所述热流检测元件顶部的导热盖压紧;所述热流检测元件包括基底、薄膜电极以及热阻层,所述基底位于底层,所述薄膜电极布置在基底的顶部,所述热阻层布置在薄膜电极的顶部,所述热阻层具有位于中部的第二热阻层和环绕在第二热阻层外侧的第一热阻层,所述第一热阻层的厚度大于第二热阻层的厚度以形成热阻层台阶,且所述第一热阻层中的外缘压在所述基底上,以使得所述薄膜电极的外缘与第一热阻层相接。