公开(公告)号：CN105143978A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201480023707.2

申请日：2014-04-14

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金炳郁 ,  尹柱豹 ,  尹赫敏 ,  姜勋 ,  金载星 ,  崔津荣 ,  杉谷耕一 ,  曹基铉 ,  周振豪

IPC: G03F7/032 ,  G03F7/028 ,  G02F1/13 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供一种感光树脂组合物。本实施例的感光树脂组合物包含：使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物和ii)烯烃类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙烯酸类共聚物；由酸解性乙缩醛或缩酮基保护酚羟基的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。

公开(公告)号：CN105143978B

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201480023707.2

申请日：2014-04-14

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金炳郁 ,  尹柱豹 ,  尹赫敏 ,  姜勋 ,  金载星 ,  崔津荣 ,  杉谷耕一 ,  曹基铉 ,  周振豪

IPC: G03F7/032 ,  G03F7/028 ,  G02F1/13 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供一种感光树脂组合物。本实施例的感光树脂组合物包含：使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物和ii)烯烃类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙烯酸类共聚物；由酸解性乙缩醛或缩酮基保护酚羟基的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。

公开(公告)号：CN1721989A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510080628.8

申请日：2005-07-04

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 姜勋 ,  李承昱 ,  全雨植 ,  朴大然 ,  金周赫 ,  金柄郁

IPC: G03F7/022

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/022

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，更具体地，本发明提供了包含以下物质的光致抗蚀剂组合物：a)酚醛清漆树脂、b)二叠氮化合物和c)包含丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)和2，2，4－三甲基－1，3－戊二醇单异丁基酯(TMPMB)的溶剂。本发明的光致抗蚀剂组合物在涂布后具有优异的涂布均匀性和污染抑制性能，使得它容易适用于实际工业场合，并且在大规模生产时，由于消耗量的降低和生产所需时间的缩短等，该光致抗蚀剂组合物可以改善作业环境。