公开(公告)号：CN1637621A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410102993.X

申请日：2004-12-29

Applicant: 东友FINE-CHEM株式会社 ,  东友STI株式会社

Inventor： 崔永国 ,  梁敏洙 ,  林大成 ,  李京模 ,  李佳妍 ,  崔善美 ,  金相泰 ,  田成贤 ,  李种灿 ,  池根旺

IPC: G03F7/32 ,  G02F1/1335 ,  G02B5/20

Abstract: 本发明涉及含有下述成分的感放射线性组合物用显影液，所述成分为化学式1表示的非离子性表面活性剂、化学式2表示的非离子性表面活性剂、化学式3表示的非离子性表面活性剂、碱性化合物以及水。本发明的感放射线性组合物用显影液同时具有对滤色片光致抗蚀剂、黑底、间隙材料等感放射线性组合物的良好的显影性和图案重现性，能消除在喷雾等步骤中产生的泡沫在显影时的影响，具有低泡沫性且显影能力出色。