公开(公告)号：CN109446544B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN201811029816.1

申请日：2018-09-04

Applicant: 东南大学

Inventor： 韩磊 ,  于洋 ,  刘星 ,  陈柳宏 ,  吴虹剑 ,  徐粲然

IPC: G06F30/20

Abstract: 本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构力学分析方法，主要采取两个步骤来处理柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构的弯曲特性建模，从而得到V型梁结构变形后对器件力学性能影响的解析模型。其一是建立基于MEMS V型梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型，其二是基于MEMS V型梁结构弯曲特性模型，获得V型梁结构/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建MEMS V型梁结构力学模型，分析弯曲变形对V型梁结构力学性能的影响。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含V型梁结构与柔性基板双变形模型的MEMS V型梁结构力学分析方法。

公开(公告)号：CN109446544A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811029816.1

申请日：2018-09-04

Applicant: 东南大学

Inventor： 韩磊 ,  于洋 ,  刘星 ,  陈柳宏 ,  吴虹剑 ,  徐粲然

IPC: G06F17/50

Abstract: 本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构力学分析方法。旨在提供一种柔性基板弯曲变形条件下V型梁结构力学性能参数变化规律的估计方法。本发明主要采取两个步骤来处理柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构的弯曲特性建模，从而得到V型梁结构变形后对器件力学性能影响的解析模型。其一是建立基于MEMS V型梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型，其二是基于MEMS V型梁结构弯曲特性模型，获得V型梁结构/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建MEMS V型梁结构力学模型，分析弯曲变形对V型梁结构力学性能的影响。为了填补国内外对MEMS V型梁结构柔性器件模型的研究空白，本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含V型梁结构与柔性基板双变形模型的MEMS V型梁结构力学分析方法。