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公开(公告)号：CN1453204A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03131591.7
申请日：2003-05-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械系统器件大信号等效电路宏模型的建立方法是一种微电子机械系统(MEMS)器件大信号等效电路宏模型的建立方法，采用力与电压或力与电流类比的方法建立相应的等效电路，即将梳状谐振器中的单对叉指极板表示为一对相对横向运动的耦合双极板，而将等效电路宏模型表示为由左边是电源部分(A)、中间为辅助部分(B)、右边是输出部分(C)组成的等效电路，其中可动的上电极板(101)与固定的下电极板(102)之间的距离d、电压Uc、极板宽度h、与横向运动的力Fe之间的转换关系为：Fe=-εhUc2/2d，该大信号等效电路宏模型能适用于大信号作用下的系统级模拟，同时也适合于小信号的分析。
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公开(公告)号：CN1234592C
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN03131591.7
申请日：2003-05-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械系统器件大信号等效电路宏模型的建立方法是一种微电子机械系统(MEMS)器件大信号等效电路宏模型的建立方法，采用力与电压或力与电流类比的方法建立相应的等效电路，即将梳状谐振器中的单对叉指极板表示为一对相对横向运动的耦合双极板，而将等效电路宏模型表示为由左边是电源部分、中间为辅助部分、右边是输出部分组成的等效电路，其中可动的上电极板(101)与固定的下电极板(102)之间的距离d、电压Uc、极板宽度h、与横向运动的力Fe之间的转换关系为：Fρ＝-(εh/2d)U2C，该大信号等效电路宏模型能适用于大信号作用下的系统级模拟，同时也适合于小信号的分析。
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公开(公告)号：CN1453203A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03131566.6
申请日：2003-05-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械系统模块的系统级设计库的建立方法是微电子机械系统自主设计模块(MEMS IP核)以及单个微电子机械系统(MEMS)器件模型的建立方法，该方法为MEMSIP核的参数－性能图谱描述方法或MEMS－IP核的类型、参数的编译接口方法，MEMS IP核的参数－性能图谱描述方法是根据MEMS－IP核的微机械结构，输入与其对应的物理参数与工艺、结构参数，采用有限元方法，或利用商品化分析软件，计算MEMS－IP核的性能，获得性能－参数的数据，以此输入－输出数据作为数据库的内容即称为参数－性能图谱，MEMS－IP核的类型、参数的编译接口方法是对于MEMS－IP核，采用F－I类比或F－V类比的方式建立等效电路宏模型，采用软件编程的方法将该宏模型编入程序，并设计完成用户的参数输入“与、或”选择接口。
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