公开(公告)号：CN115313010A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210978586.3

申请日：2022-08-16

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  蒋亦非 ,  金建镇 ,  李波

IPC: H01P5/18 ,  H01P1/383 ,  H01P11/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明的一种可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法，其主要由五端口环形结和MEMS悬臂梁构成。其中，五端口环形结的第一端口为输入端，第二端口、第三端口、第四端口、第五端口分别位于第一端口两侧且为输出端；MEMS悬臂梁位于第四端口和第五端口在环形结上的等分处，在下极板上施加驱动电压，基于静电原理MEMS悬臂梁的高度下降，即MEMS悬臂梁会与环形结信号线发生接触，使得信号线发生接地短路，从而改变整体电路的拓扑结构，进而调整输出端口的功率分配比。该可调功率分配比的MEMS五端口环形结属于无源器件，且具有微型化和可调节功率分配比等特点，与硅基CMOS工艺兼容，便于集成，成本低廉。

公开(公告)号：CN115313010B

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202210978586.3

申请日：2022-08-16

Applicant: 东南大学

Inventor： 张志强 ,  蒋亦非 ,  金建镇 ,  李波

IPC: H01P5/18 ,  H01P1/383 ,  H01P11/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明的一种可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法，其主要由五端口环形结和MEMS悬臂梁构成。其中，五端口环形结的第一端口为输入端，第二端口、第三端口、第四端口、第五端口分别位于第一端口两侧且为输出端；MEMS悬臂梁位于第四端口和第五端口在环形结上的等分处，在下极板上施加驱动电压，基于静电原理MEMS悬臂梁的高度下降，即MEMS悬臂梁会与环形结信号线发生接触，使得信号线发生接地短路，从而改变整体电路的拓扑结构，进而调整输出端口的功率分配比。该可调功率分配比的MEMS五端口环形结属于无源器件，且具有微型化和可调节功率分配比等特点，与硅基CMOS工艺兼容，便于集成，成本低廉。