公开(公告)号：CN110016653B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201910287915.8

申请日：2019-04-11

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  杨俊杰 ,  邢又强

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/30 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种原子层沉积软硬复合涂层自润滑刀具及其制备方法，该软硬复合涂层自润滑刀具包括刀具基体及其表面的纳米复合涂层，该纳米复合涂层为采用原子层沉积技术依次沉积在刀具基体表面上的Al2O3硬涂层以及MoS2或WS2自润滑软涂层。其制备方法包括如下步骤：(1)清洗刀具基体；(2)沉积Al2O3硬涂层：将清洗后的刀具置于原子层沉积设备中，加热到350～450℃，交替通入Al(CH)3和H2O前驱体，在刀具基体表面沉积Al2O3涂层；(3)沉积MoS2或WS2软涂层：保持原子层沉积设备加热腔的温度为350～450℃，交替通入MoCl5和H2S前驱体来沉积MoS2涂层，或交替通入WCl5和H2S前驱体来沉积WS2涂层，完成软硬复合涂层自润滑刀具的制备。制得的刀具整体韧性、表面硬度和自润滑功效都有巨大提升。

公开(公告)号：CN110016653A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910287915.8

申请日：2019-04-11

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  杨俊杰 ,  邢又强

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/30 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种原子层沉积软硬复合涂层自润滑刀具及其制备方法，该软硬复合涂层自润滑刀具包括刀具基体及其表面的纳米复合涂层，该纳米复合涂层为采用原子层沉积技术依次沉积在刀具基体表面上的Al2O3硬涂层以及MoS2或WS2自润滑软涂层。其制备方法包括如下步骤：(1)清洗刀具基体；(2)沉积Al2O3硬涂层：将清洗后的刀具置于原子层沉积设备中，加热到350～450℃，交替通入Al(CH)3和H2O前驱体，在刀具基体表面沉积Al2O3涂层；(3)沉积MoS2或WS2软涂层：保持原子层沉积设备加热腔的温度为350～450℃，交替通入MoCl5和H2S前驱体来沉积MoS2涂层，或交替通入WCl5和H2S前驱体来沉积WS2涂层，完成软硬复合涂层自润滑刀具的制备。制得的刀具整体韧性、表面硬度和自润滑功效都有巨大提升。