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发明公开
一种柔性湿度传感器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN113252741A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110531444.8

申请日：2021-05-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 李勇 , 马睿楠 , 田源 , 夏鹏 , 季怡然 , 彭梦莹 , 谢宇航 , 黄见秋

IPC: G01N27/22 , D04H1/4318 , D04H1/728

Abstract: 本发明公开了一种基于疏水多孔聚四氟乙烯隔离和保护的柔性湿度传感器及其制备方法，传感器由下至上包括疏水多孔聚四氟乙烯衬底，金属电极层，疏水多孔聚四氟乙烯隔离层，氧化石墨烯敏感层及疏水多孔聚四氟乙烯材料保护层。本发明制备的湿度传感器由于在金属电极层和湿敏材料层之间有一层绝缘的疏水多孔聚四氟乙烯，可以有效的减小高湿度下器件的电容损耗，另外在最外层有一层疏水多孔聚四氟乙烯材料保护层，可以防水防污，具有良好的透气性，同时又不会影响器件的性能。

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