公开(公告)号：CN103849849B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201410079445.3

申请日：2014-03-05

Applicant: 东南大学

Inventor： 万能 ,  樊路嘉 ,  孙立涛

IPC: C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种在物体表面制备薄膜的方法，基于薄膜制备装置进行薄膜制备，具体包括如下步骤：（1）三维结构模型输入；（2）表面工艺点节点划分；（3）工艺点参数设置；（4）每步移动参数计算；（5）图形化定位；（6）机械手位置控制；（7）薄膜生长工艺控制。本发明提供的在物体表面制备薄膜的方法，可以在不同形状的凸形表面按照要求进行薄膜的制备，克服传统方法难以在不规则表面制备薄膜的问题。

公开(公告)号：CN103849849A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201410079445.3

申请日：2014-03-05

Applicant: 东南大学

Inventor： 万能 ,  樊路嘉 ,  孙立涛

IPC: C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种在物体表面制备薄膜的方法，基于薄膜制备装置进行薄膜制备，具体包括如下步骤：（1）三维结构模型输入；（2）表面工艺点节点划分；（3）工艺点参数设置；（4）每步移动参数计算；（5）图形化定位；（6）机械手位置控制；（7）薄膜生长工艺控制。本发明提供的在物体表面制备薄膜的方法，可以在不同形状的凸形表面按照要求进行薄膜的制备，克服传统方法难以在不规则表面制备薄膜的问题。