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公开(公告)号：CN112420468B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202011302224.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于场发射电子源的高电子透过率的石墨烯栅极结构的制备方法，该复合栅极结构是由导电薄膜(1)、石墨烯海绵(2)和金属电极(3)构成。其制备步骤为：首先利用热化学气相沉积法将石墨烯直接生长在金属海绵网表面，然后将金属网腐蚀去除，并将其固定在金属膜片的圆孔之上；随后将石墨烯薄膜转移到石墨烯海绵上表面；最后，将该复合结构放置于真空系统中进行高温退火。本发明充分利用了石墨烯材料的低电子散射效应和高传导的特性，石墨烯海绵与石墨烯同种物质的原子间范德华力，增强栅网结构之间的附着力，降低电阻率，从而提高栅极的电子透过率和稳定性。本发明在场发射电子源领域和高分辨率的电子显微领域有着重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN110085497B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201910330280.5
申请日：2019-04-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于行波管X光通信器件，属于电真空器件和通信领域，该器件针对空天飞行器在穿越大气层的黑障区过程中，利用行波管信号调制方式调制轰击X光靶的电子注流，从而产生X光信号的调制用于X光通信，以解决黑障区对微波信号的屏蔽作用，为黑障区内的通信提供有效的技术手段，对降低载荷的体积、重量和功耗具有重要的实际应用意义。
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公开(公告)号：CN114512379B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210099674.6
申请日：2022-01-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米间隙电子源及其制备方法。所述纳米间隙电子源是在平面绝缘基片上制备纳米间隙电子源，结构是由基底(1)、介质层(2)，电子发射极(3)，控制电子发射的栅极等特性的电子光学系统(7)，以及收集极(8)组成。其制备方法结合了高精度的刻蚀或电子束曝光工艺，以及转移手段和薄膜工艺。本发明设计结合现有的半导体加工工艺，获得小型化和集成化的电子源器件的方案，以期获得高频和快速响应的技术优势，在新型电子元器件和微纳机电系统中具有较高的应用潜力，为未来实现片上集成的真空电子器件奠定技术基础。(4)，绝缘层(5)，电子提取极(6)，控制电子聚焦
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114512379A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210099674.6
申请日：2022-01-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米间隙电子源及其制备方法。所述纳米间隙电子源是在平面绝缘基片上制备纳米间隙电子源，结构是由基底(1)、介质层(2)，电子发射极(3)，控制电子发射的栅极(4)，绝缘层(5)，电子提取极(6)，控制电子聚焦等特性的电子光学系统(7)，以及收集极(8)组成。其制备方法结合了高精度的刻蚀或电子束曝光工艺，以及转移手段和薄膜工艺。本发明设计结合现有的半导体加工工艺，获得小型化和集成化的电子源器件的方案，以期获得高频和快速响应的技术优势，在新型电子元器件和微纳机电系统中具有较高的应用潜力，为未来实现片上集成的真空电子器件奠定技术基础。
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公开(公告)号：CN112420468A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011302224.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于场发射电子源的高电子透过率的石墨烯栅极结构的制备方法，该复合栅极结构是由导电薄膜(1)、石墨烯海绵(2)和金属电极(3)构成。其制备步骤为：首先利用热化学气相沉积法将石墨烯直接生长在金属海绵网表面，然后将金属网腐蚀去除，并将其固定在金属膜片的圆孔之上；随后将石墨烯薄膜转移到石墨烯海绵上表面；最后，将该复合结构放置于真空系统中进行高温退火。本发明充分利用了石墨烯材料的低电子散射效应和高传导的特性，石墨烯海绵与石墨烯同种物质的原子间范德华力，增强栅网结构之间的附着力，降低电阻率，从而提高栅极的电子透过率和稳定性。本发明在场发射电子源领域和高分辨率的电子显微领域有着重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN110098097A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910330279.2
申请日：2019-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: H01J23/027 , H01J25/34 , H01J35/08 , H04B10/038
Abstract: 本发明涉及一种基于行波管的微波和X光通信双模器件，所述双模器件由产生具有层流性电子注的电子枪，微波信号输入窗，微波信号和电子注相互作用的慢波线结构，在慢波线中约束电子发散的磁聚焦系统，放大的微波信号输出窗，电子的多级收集极，制作在收集极最后一级上的重金属靶和X光输出窗组成；所述电子枪设置在慢波线结构的前端，所述慢波线结构的前段设置有输入窗，其外部设置有磁聚焦系统，所述慢波线结构的后段设置有输出窗，所述收集极上设置有重金属靶和X光输出窗，该方案利用传统行波管的工作原理，将行波管收集极制作成产生X光的靶电极，使其具有通信用行波管微波信号放大功能的同时，具备电子轰击下产生调制的X光，实现双模功能。
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公开(公告)号：CN110098097B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201910330279.2
申请日：2019-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: H01J23/027 , H01J25/34 , H01J35/08 , H04B10/038
Abstract: 本发明涉及一种基于行波管的微波和X光通信双模器件，所述双模器件由产生具有层流性电子注的电子枪，微波信号输入窗，微波信号和电子注相互作用的慢波线结构，在慢波线中约束电子发散的磁聚焦系统，放大的微波信号输出窗，电子的多级收集极，制作在收集极最后一级上的重金属靶和X光输出窗组成；所述电子枪设置在慢波线结构的前端，所述慢波线结构的前段设置有输入窗，其外部设置有磁聚焦系统，所述慢波线结构的后段设置有输出窗，所述收集极上设置有重金属靶和X光输出窗，该方案利用传统行波管的工作原理，将行波管收集极制作成产生X光的靶电极，使其具有通信用行波管微波信号放大功能的同时，具备电子轰击下产生调制的X光，实现双模功能。
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公开(公告)号：CN110085497A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910330280.5
申请日：2019-04-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于行波管X光通信器件，属于电真空器件和通信领域，该器件针对空天飞行器在穿越大气层的黑障区过程中，利用行波管信号调制方式调制轰击X光靶的电子注流，从而产生X光信号的调制用于X光通信，以解决黑障区对微波信号的屏蔽作用，为黑障区内的通信提供有效的技术手段，对降低载荷的体积、重量和功耗具有重要的实际应用意义。
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