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公开(公告)号：CN117268576A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311235739.6
申请日：2023-09-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01K7/32
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的温度传感器电路，包含两个MEMS振荡电路、混频器电路、差频温度传感电路和温度编码电路。所述MEMS振荡电路利用驱动电路放大MEMS谐振器的微弱振荡信号。所述混频器电路对两个MEMS振荡电路的输出信号进行差频处理，并输出相应的差频信号。所述差频温度传感电路利用增敏量化器和增敏环路处理所述差频信号，提取当前温度信息，并输出当前温度所对应的数字温度码。该电路将整个温度传感方案的分辨力提高到微开尔文级别，所述电路具有温度传感分辨力高、误差小、电路低复杂度等优点。
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