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公开(公告)号：CN1736616A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510094138.3
申请日：2005-08-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于制备纳米功能薄膜的纳米薄膜成形机，由真空舱舱体和电机组成，真空舱舱体由座舱和上盖组成，上盖设在座舱上，电机设在座舱内且由设在座舱上的固定法兰固定，在电机的转轴上连接有基底托盘，在上盖上设有进液口且进液口位于基底托盘的上方，在真空舱舱体上设有用于抽真空的真空接头，在真空舱舱体内设有热解用热源和光解用光源，且热源和光源安放位置高于基底托盘；本发明具有集薄膜成形、热解或光解及高温相变于一体、有助于提高或保证纳米薄膜质量等优点。
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公开(公告)号：CN100357038C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200510094138.3
申请日：2005-08-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于制备纳米功能薄膜的纳米薄膜成形机，由真空舱舱体和电机组成，真空舱舱体由座舱和上盖组成，上盖设在座舱上，电机设在座舱内且由设在座舱上的固定法兰固定，在电机的转轴上连接有基底托盘，在上盖上设有进液口且进液口位于基底托盘的上方，在真空舱舱体上设有用于抽真空的真空接头，在真空舱舱体内设有热解用热源和光解用光源，且热源和光源安放位置高于基底托盘；本发明具有集薄膜成形、热解或光解及高温相变于一体、有助于提高或保证纳米薄膜质量等优点。
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公开(公告)号：CN2834705Y
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200520075035.8
申请日：2005-08-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于制备纳米功能薄膜的纳米薄膜成形机，由真空舱舱体和电机组成，真空舱舱体由座舱和上盖组成，上盖设在座舱上，电机设在座舱内且由设在座舱上的固定法兰固定，在电机的转轴上连接有基底托盘，在上盖上设有进液口且进液口位于基底托盘的上方，在真空舱舱体上设有用于抽真空的真空接头，在真空舱舱体内设有热解用热源和光解用光源，且热源和光源安放位置高于基底托盘；本实用新型具有集薄膜成形、热解或光解及高温相变于一体、有助于提高或保证纳米薄膜质量等优点。
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