公开(公告)号：CN114155219B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202111446867.6

申请日：2021-11-30

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 薛勃 ,  尹若楠 ,  何洋 ,  佘美娜

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/60 ,  G06T7/73

Abstract: 基于AFM敲击加工轨迹测压电剪切叠堆高频运动位移的方法，属于压电驱动技术领域。它能够实现以半接触的方式对其二维高频复杂运动的准确检测。该方法，包括以下步骤：S1.制备PMMA薄膜；S2.搭建加工装置，将PMMA薄膜安装在加工装置上；S3.AFM对PMMA薄膜进行敲击加工，确定AFM探针敲击加工的驱动振幅；S4.AFM原位敲击加工二维高频运动的PMMA薄膜；S5.AFM探针对敲击加工的轨迹进行扫描测量，表征两轴压电剪切叠堆运动的轨迹；S6.实现不同电压及频率下两轴压电剪切叠堆的横向位移、纵向位移及其运动位移表征。本发明将微纳加工技术中的AFM敲击刻划加工与压电陶瓷结合，实现了对两轴压电剪切叠堆在二维平面的高频运动轨迹的准确表征。

公开(公告)号：CN114155219A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111446867.6

申请日：2021-11-30

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 薛勃 ,  尹若楠 ,  何洋 ,  佘美娜

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/60 ,  G06T7/73

Abstract: 基于AFM敲击加工轨迹测压电剪切叠堆高频运动位移的方法，属于压电驱动技术领域。它能够实现以半接触的方式对其二维高频复杂运动的准确检测。该方法，包括以下步骤：S1.制备PMMA薄膜；S2.搭建加工装置，将PMMA薄膜安装在加工装置上；S3.AFM对PMMA薄膜进行敲击加工，确定AFM探针敲击加工的驱动振幅；S4.AFM原位敲击加工二维高频运动的PMMA薄膜；S5.AFM探针对敲击加工的轨迹进行扫描测量，表征两轴压电剪切叠堆运动的轨迹；S6.实现不同电压及频率下两轴压电剪切叠堆的横向位移、纵向位移及其运动位移表征。本发明将微纳加工技术中的AFM敲击刻划加工与压电陶瓷结合，实现了对两轴压电剪切叠堆在二维平面的高频运动轨迹的准确表征。