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公开(公告)号：CN118442310A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410524188.3
申请日：2024-04-29
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及真空泵测试技术领域，具体涉及一种用于罗茨真空泵的转子温度的测试装置及其测试方法，包括泵本体，在泵本体的外壁上沿其径向朝向靠近泵腔的一侧分别开设有第一测量点位和第二测量点位，第一测量点位延伸至泵本体的泵壁内。第一测量点位内固定设置有第一测温结构件。第二测量点位上设置有第二测温结构件，且第二测温结构件能够测量转子组件的温度。通过在泵本体的外壁上分别设置有第一测量点位和第二测量点位，在两个点位处分别通过第一测温结构件和第二测温结构件能够分别测量泵腔的温度以及直接地测量转子组件的转子温度，通过测量转子温度和泵腔温度两者温度能够更全面充分得测量转子温度。
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公开(公告)号：CN111365220B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN114593052B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011412108.3
申请日：2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
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公开(公告)号：CN111365221A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811601913.3
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。
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公开(公告)号：CN114607599A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111365220A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN118881557A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411298076.7
申请日：2024-09-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及真空泵测试技术领域，具体涉及一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统及其调控方法，包括泵本体、转子组件、温度测量系统、加热系统、冷却系统和电控系统。温度测量系统包括无线测温片，无线测温片测量转子组件的温度，并将温度的信号发送至电控系统内。加热系统设置于泵本体的进气口。转子组件的转子轴的内腔与冷却冷却系统相连通。冷却系统与电控系统电连接。通过增加了冷却系统，且冷却系统与空心结构的转子轴连通，进而能够更多的带走的热量。同时还设置加热系统，对进入泵本体内的介质进行加热处理，且加热系统和冷却系统均与电控系统相连，通过电控系统能够对转子组件进行温度的处理，达到精确控制罗茨泵腔体内部温度的效果。
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公开(公告)号：CN114607599B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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公开(公告)号：CN114607603A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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