粒径小于1μm高分散球形钌粉及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116117156A

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202310042628.7

    申请日:2023-01-28

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了粒径小于1μm高分散球形钌粉及其制备方法和应用,解决了高分散、粒径均匀细小且粒径可控的球形钌粉制备难题。所述钌粉制备时通过调控溶液中硫酸根与钌离子摩尔比得到粒径可控的高分散球形前驱体沉淀粉体,再将前驱体沉淀粉体置于氢气中高温煅烧得到粒径小于1μm高分散球形钌粉。本发明技术新颖,可实现粒径小于1μm高分散球形钌粉大批量大规模制备,用该方法制备的钌粉在半导体溅射靶材领域有广阔的应用前景。

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