公开(公告)号：CN115290177A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210896892.2

申请日：2022-07-28

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  尹君作 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  王昊 ,  刘辉

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明公开了一种基于光杠杆原理的微悬臂梁振动测试系统及方法，涉及微传感器技术和振动测试领域；该测试系统在传统的光杠杆原理基础上，将入射光和出射光改成共光路设计，由光路测量及显微模块、激振模块、真空模块、数据采集模块、微动模块和计算机组成；该测试系统有效的克服了传统光杠杆原理需扩大臂长来提升系统灵敏度的缺点，现只需按照不同的测试对象，更换不同参数的物镜和透镜即可改变测试系统的灵敏度，有效地解决了现有微悬臂梁振动测试系统集成度低、成本高和噪声高等问题。

公开(公告)号：CN115218786B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202210839499.X

申请日：2022-07-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  王昊 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  尹君作 ,  刘辉

IPC: G01B11/00 ,  G01H9/00 ,  G06F7/50

Abstract: 本发明公开了一种用于位置敏感探测器的高频信号处理电路及方法，属于微弱信号转换和检测技术领域；通过PSD工作电路将微弱的高频光学信号转换为微弱的高频的电流信号，通过跨阻放大电路将电流信号转换为电压信号，通过所述二级放大电路再次放大电压信号，最后通过所述加减法电路得到光信号在PSD的x轴和y轴上的位置变化情况。本发明具有电路结构简单、输出结果受运算放大器的放大精度与地面噪声干扰小的优点。通过实验测试本发明输出信号稳定性良好，电路处理结果也具有很高的准确性。

公开(公告)号：CN115218786A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210839499.X

申请日：2022-07-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  王昊 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  尹君作 ,  刘辉

IPC: G01B11/00 ,  G01H9/00 ,  G06F7/50

Abstract: 本发明公开了一种用于位置敏感探测器的高频信号处理电路及方法，属于微弱信号转换和检测技术领域；通过PSD工作电路将微弱的高频光学信号转换为微弱的高频的电流信号，通过跨阻放大电路将电流信号转换为电压信号，通过所述二级放大电路再次放大电压信号，最后通过所述加减法电路得到光信号在PSD的x轴和y轴上的位置变化情况。本发明具有电路结构简单、输出结果受运算放大器的放大精度与地面噪声干扰小的优点。通过实验测试本发明输出信号稳定性良好，电路处理结果也具有很高的准确性。