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公开(公告)号：CN104989641B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201510330862.5
申请日：2015-06-15
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。在涡旋干式真空泵的涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀，辅助排气阀的分布方式为：以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀。本发明与现有技术相比，突破了现有涡旋干式真空泵在定压比工作方式上的限制，在涡旋定盘上设置了辅助排气阀，当入口压力较高时，能够及时通过辅助排气阀排除涡旋工作腔内的一部分高压气体，使涡旋工作腔的压力降到合理水平，在很大程度上避免了过压缩现象的产生，从而减小涡旋体所受到的冲击作用，使涡旋干式真空泵具有了工作平稳、振动小及节约能源的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104989641A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510330862.5
申请日：2015-06-15
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。在涡旋干式真空泵的涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀，辅助排气阀的分布方式为：以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀。本发明与现有技术相比，突破了现有涡旋干式真空泵在定压比工作方式上的限制，在涡旋定盘上设置了辅助排气阀，当入口压力较高时，能够及时通过辅助排气阀排除涡旋工作腔内的一部分高压气体，使涡旋工作腔的压力降到合理水平，在很大程度上避免了过压缩现象的产生，从而减小涡旋体所受到的冲击作用，使涡旋干式真空泵具有了工作平稳、振动小及节约能源的特点。
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公开(公告)号：CN108443142A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810479034.1
申请日：2018-05-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种双侧双级涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。所述双侧双级涡旋干式真空泵包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、左涡旋定盘和右涡旋定盘，左涡旋定盘和右涡旋定盘与涡旋动盘之间分别形成的配合腔为涡旋工作腔，涡旋动盘左侧从外圈至内圈均设有涡旋齿，位于内圈的涡旋齿的齿高高于位于外圈的涡旋齿的齿高，所述涡旋动盘右侧只有外圈设有涡旋齿，所述涡旋工作腔包括第一级涡旋工作腔和第二级涡旋工作腔，所述涡旋动盘内设置气流通道使所述第一级涡旋工作腔和所述第二级涡旋工作腔相通。所述双侧双级涡旋干式真空泵可以在完全清洁、无油的基础上具有抽速大、压缩比和极限真空度高的特点，且泵体产热量少、散热好，有利于长期稳定运行。
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公开(公告)号：CN104612968B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410804998.0
申请日：2014-12-19
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种双级涡旋干式真空泵，其第一涡旋工作腔的外圆周侧与左涡旋定盘上的进气口相通，在涡旋动盘内沿径向设有气流通道，数量至少为1个，气流通道一端与第一涡旋工作腔的中心侧相通，另一端与第二涡旋工作腔的外圆周侧相通，第二涡旋工作腔的中心侧与右涡旋定盘内的排气通道及排气口相通。涡旋动盘外圆周侧与右涡旋定盘外圆周侧之间通过波纹管密封连接，通过波纹管将第一涡旋工作腔外圆周侧与第二涡旋工作腔外圆周侧密封隔离。波纹管与涡旋动盘、右涡旋定盘之间通过法兰或焊接连接。本发明突破了现有双侧涡旋干式真空泵在压缩比和极限真空度的限制，通过两个串联涡旋工作腔的双级连续压缩，提高了真空泵的压缩比和极限真空度。
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公开(公告)号：CN104612968A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410804998.0
申请日：2014-12-19
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
CPC classification number: F04C18/0215 , F04C23/02 , F04C25/02 , F04C29/12
Abstract: 一种双级涡旋干式真空泵，其第一涡旋工作腔的外圆周侧与左涡旋定盘上的进气口相通，在涡旋动盘内沿径向设有气流通道，数量至少为1个，气流通道一端与第一涡旋工作腔的中心侧相通，另一端与第二涡旋工作腔的外圆周侧相通，第二涡旋工作腔的中心侧与右涡旋定盘内的排气通道及排气口相通。涡旋动盘外圆周侧与右涡旋定盘外圆周侧之间通过波纹管密封连接，通过波纹管将第一涡旋工作腔外圆周侧与第二涡旋工作腔外圆周侧密封隔离。波纹管与涡旋动盘、右涡旋定盘之间通过法兰或焊接连接。本发明突破了现有双侧涡旋干式真空泵在压缩比和极限真空度的限制，通过两个串联涡旋工作腔的双级连续压缩，提高了真空泵的压缩比和极限真空度。
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公开(公告)号：CN108443142B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201810479034.1
申请日：2018-05-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种双侧双级涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。所述双侧双级涡旋干式真空泵包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、左涡旋定盘和右涡旋定盘，左涡旋定盘和右涡旋定盘与涡旋动盘之间分别形成的配合腔为涡旋工作腔，涡旋动盘左侧从外圈至内圈均设有涡旋齿，位于内圈的涡旋齿的齿高高于位于外圈的涡旋齿的齿高，所述涡旋动盘右侧只有外圈设有涡旋齿，所述涡旋工作腔包括第一级涡旋工作腔和第二级涡旋工作腔，所述涡旋动盘内设置气流通道使所述第一级涡旋工作腔和所述第二级涡旋工作腔相通。所述双侧双级涡旋干式真空泵可以在完全清洁、无油的基础上具有抽速大、压缩比和极限真空度高的特点，且泵体产热量少、散热好，有利于长期稳定运行。
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