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公开(公告)号：CN101280420B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200810011602.1
申请日：2008-05-28
Applicant: 东北大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种具有磁场增强和调节功能的磁控溅射靶，包括靶体、内部磁路、水冷系统，其特征在于该靶在正磁环后部与导磁轭铁相接处的导磁轭铁外部，设置了径向充磁的侧磁环；在靶的下部设有双级位置调节机构。径向充磁的侧磁环可以明显减少靶外侧面的漏磁通，大大增强靶材表面位置处的水平磁场，从而能够满足镀制铁磁材料的强磁场要求。双级位置调节机构，能够分别在线、连续改变靶面相对于靶座法兰板的前后位置，从而调节靶基距和靶内磁路结构部分相对于靶材表面的前后位置，使之适合于对表面磁场有不同要求，如不同导磁率、不同厚度的靶材的溅射镀膜工艺过程。本发明为磁控溅射真空镀膜的工艺参数调节提供一种方便快捷的关键部件结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111365240A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600736.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
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公开(公告)号：CN108119352A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
CPC classification number: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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公开(公告)号：CN101280420A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200810011602.1
申请日：2008-05-28
Applicant: 东北大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种具有磁场增强和调节功能的磁控溅射靶，包括靶体、内部磁路、水冷系统，其特征在于该靶在正磁环后部与导磁轭铁相接处的导磁轭铁外部，设置了径向充磁的侧磁环；在靶的下部设有双级位置调节机构。径向充磁的侧磁环可以明显减少靶外侧面的漏磁通，大大增强靶材表面位置处的水平磁场，从而能够满足镀制铁磁材料的强磁场要求。双级位置调节机构，能够分别在线、连续改变靶面相对于靶座法兰板的前后位置，从而调节靶基距和靶内磁路结构部分相对于靶材表面的前后位置，使之适合于对表面磁场有不同要求，如不同导磁率、不同厚度的靶材的溅射镀膜工艺过程。本发明为磁控溅射真空镀膜的工艺参数调节提供一种方便快捷的关键部件结构。
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公开(公告)号：CN111365240B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811600736.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
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公开(公告)号：CN108119352B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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