公开(公告)号：CN102080211B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201110044400.9

申请日：2011-02-24

Applicant: 东北大学

Inventor： 张世伟 ,  韩进 ,  张文慧

IPC: C23C14/34

Abstract: 一种用于立式多靶位真空镀膜机的屏蔽挡板机构，包括多级座圈、架杆、挡板、大齿圈和驱动机构，其特征在于挡板的数目可以根据需要灵活确定，同样数目的座圈由内向外依次套装，相互间由滚珠支撑；每级座圈下通过架杆连接一块挡板，各级架杆排布在不同高度与角度，以避免干涉；每级座圈下的挡块可以拨动相邻内侧座圈下的定位销或限位销，将其带动随之做正反向旋转；最外侧座圈固定大齿圈，与驱动轮啮合；通过准确控制唯一驱动轮的交替正反向旋转角度，即可将各级挡板布置在指定屏蔽位置，实现挡板对各种可能的位置组合方式的屏蔽。本发明为真空镀膜技术提供了一种屏蔽功能全面、结构灵活合理、操作方便快捷的关键部件结构。

公开(公告)号：CN102080211A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201110044400.9

申请日：2011-02-24

Applicant: 东北大学

Inventor： 张世伟 ,  韩进 ,  张文慧

IPC: C23C14/34

Abstract: 一种用于立式多靶位真空镀膜机的屏蔽挡板机构，包括多级座圈、架杆、挡板、大齿圈和驱动机构，其特征在于挡板的数目可以根据需要灵活确定，同样数目的座圈由内向外依次套装，相互间由滚珠支撑；每级座圈下通过架杆连接一块挡板，各级架杆排布在不同高度与角度，以避免干涉；每级座圈下的挡块可以拨动相邻内侧座圈下的定位销或限位销，将其带动随之做正反向旋转；最外侧座圈固定大齿圈，与驱动轮啮合；通过准确控制唯一驱动轮的交替正反向旋转角度，即可将各级挡板布置在指定屏蔽位置，实现挡板对各种可能的位置组合方式的屏蔽。本发明为真空镀膜技术提供了一种屏蔽功能全面、结构灵活合理、操作方便快捷的关键部件结构。