公开(公告)号：CN101608615B

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200910012545.3

申请日：2009-07-15

Applicant: 东北大学

Inventor： 张世伟 ,  梁文升 ,  张兴乔 ,  张志军

IPC: F04B51/00

Abstract: 蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法，属于真空测试技术领域。本发明能够严格按照国家和国际标准中规定的测试原理和方法，自动完成蒸汽流真空泵参数测试。本发明包括测试罩、气体流量测试单元及前级管路气体流量调节单元等；气体流量测试单元包括滴管，在滴管上部的进气口处设置有滴管电磁阀，在滴管的外侧设置有上、下液位开关；测试罩气体流量调节单元、前级管路气体流量调节单元均由步进电机、针式微调阀和高真空电磁阀组成，针式微调阀的驱动旋钮与步进电机相连，针式微调阀的出气口与高真空电磁阀相连；液位开关、滴管电磁阀等与计算机控制单元相连。测量方法包括蒸汽流真空泵极限压力的测量、体积流率的测量和临界前级压力的测量。

公开(公告)号：CN101608615A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200910012545.3

申请日：2009-07-15

Applicant: 东北大学

Inventor： 张世伟 ,  梁文升 ,  张兴乔 ,  张志军

IPC: F04B51/00

Abstract: 蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法，属于真空测试技术领域。本发明能够严格按照国家和国际标准中规定的测试原理和方法，自动完成蒸汽流真空泵参数测试。本发明包括测试罩、气体流量测试单元及前级管路气体流量调节单元等；气体流量测试单元包括滴管，在滴管上部的进气口处设置有滴管电磁阀，在滴管的外侧设置有上、下液位开关；测试罩气体流量调节单元、前级管路气体流量调节单元均由步进电机、针式微调阀和高真空电磁阀组成，针式微调阀的驱动旋钮与步进电机相连，针式微调阀的出气口与高真空电磁阀相连；液位开关、滴管电磁阀等与计算机控制单元相连。测量方法包括蒸汽流真空泵极限压力的测量、体积流率的测量和临界前级压力的测量。