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公开(公告)号：CN108588668A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810399652.5
申请日：2018-04-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜系统。多个镀膜室与多个镀膜辊一一对应地设置，每个镀膜室包括一个或多个溅射单元，每个溅射单元包括升降装置、连接于升降装置的磁控溅射靶以及两个靶挡板，两个靶挡板位于磁控溅射靶和镀膜辊之间且间隔以形成延伸在磁控溅射靶和镀膜辊之间的溅射区间，磁控溅射靶和升降装置与电控装置连接。每个溅射区间设有抽气阀和布气阀，二者均与电控装置连接。该卷绕镀膜系统可独立控制每个溅射区间是否使用以及在使用时的工艺参数，能够随意控制镀膜的层数、靶材的种类，在柔性基底上一次性镀制多层工艺参数不同的膜层，提升镀膜效率。
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公开(公告)号：CN106611694B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710042133.9
申请日：2017-01-20
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN108550644A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810573107.3
申请日：2018-06-06
Applicant: 东北大学
IPC: H01L31/048 , H01L31/18
Abstract: 一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池及其制备方法，属于硅基薄膜太阳能电池领域。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池的结构包括依次连接的前电极、吸收体和背电极；其中，吸收体为PI1N1I2N2结构的半叠层吸收体，P为P型非晶硅层，I1为本征非晶硅层，N1为N1型非晶硅层，I2为本征微晶硅层，N2为N2型非晶硅层；其制备方法为，处理衬底层，根据结构，采用射频磁控溅射法依次沉积各层。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池采用半叠层PI1N1I2N2结构，有效避免传统叠层电池中隧穿结的重掺杂问题。在减薄叠层电池厚度的基础上，半叠层结构可以提高电池的内建电场强度、短路电流和转化效率。采用的磁控溅射方法，沉积过程高效、清洁、易于控制。
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公开(公告)号：CN106611694A
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201710042133.9
申请日：2017-01-20
Applicant: 东北大学
CPC classification number: H01J49/4215 , H01J49/02
Abstract: 本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN108550644B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810573107.3
申请日：2018-06-06
Applicant: 东北大学
IPC: H01L31/048 , H01L31/18
Abstract: 一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池及其制备方法，属于硅基薄膜太阳能电池领域。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池的结构包括依次连接的前电极、吸收体和背电极；其中，吸收体为PI1N1I2N2结构的半叠层吸收体，P为P型非晶硅层，I1为本征非晶硅层，N1为N1型非晶硅层，I2为本征微晶硅层，N2为N2型非晶硅层；其制备方法为，处理衬底层，根据结构，采用射频磁控溅射法依次沉积各层。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池采用半叠层PI1N1I2N2结构，有效避免传统叠层电池中隧穿结的重掺杂问题。在减薄叠层电池厚度的基础上，半叠层结构可以提高电池的内建电场强度、短路电流和转化效率。采用的磁控溅射方法，沉积过程高效、清洁、易于控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104777050B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201510184666.1
申请日：2015-04-17
Applicant: 东北大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明提供一种阻变薄膜低温弯扭测试仪及测试方法，该测试仪包括：对阻变薄膜进行可调节角度的弯曲和扭曲的弯扭装置；控制弯扭装置的弯扭次数、弯扭速度、弯曲程度、扭转角度并测量阻变薄膜在弯扭测试过程中的伏安特性曲线的测控系统；根据测控系统的控制指令为阻变薄膜提供弯扭测试所需低温环境的低温系统；本发明的测试仪及测试方法能同时或分别实现弯曲和扭曲实验，且能适应不同长度、宽度的试验样品，结构简单，操作方便；可调节弯曲、扭曲的角度，实现不同程度的弯扭实验，可应用于各种柔性薄膜，尤其是满足低温下对于阻变薄膜的疲劳性检测，以满足相应电子器件投入应用前的寿命的估测，保证产品的质量的测试仪器。
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公开(公告)号：CN108588668B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201810399652.5
申请日：2018-04-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜系统。多个镀膜室与多个镀膜辊一一对应地设置，每个镀膜室包括一个或多个溅射单元，每个溅射单元包括升降装置、连接于升降装置的磁控溅射靶以及两个靶挡板，两个靶挡板位于磁控溅射靶和镀膜辊之间且间隔以形成延伸在磁控溅射靶和镀膜辊之间的溅射区间，磁控溅射靶和升降装置与电控装置连接。每个溅射区间设有抽气阀和布气阀，二者均与电控装置连接。该卷绕镀膜系统可独立控制每个溅射区间是否使用以及在使用时的工艺参数，能够随意控制镀膜的层数、靶材的种类，在柔性基底上一次性镀制多层工艺参数不同的膜层，提升镀膜效率。
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公开(公告)号：CN104777050A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201510184666.1
申请日：2015-04-17
Applicant: 东北大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明提供一种阻变薄膜低温弯扭测试仪及测试方法，该测试仪包括：对阻变薄膜进行可调节角度的弯曲和扭曲的弯扭装置；控制弯扭装置的弯扭次数、弯扭速度、弯曲程度、扭转角度并测量阻变薄膜在弯扭测试过程中的伏安特性曲线的测控系统；根据测控系统的控制指令为阻变薄膜提供弯扭测试所需低温环境的低温系统；本发明的测试仪及测试方法能同时或分别实现弯曲和扭曲实验，且能适应不同长度、宽度的试验样品，结构简单，操作方便；可调节弯曲、扭曲的角度，实现不同程度的弯扭实验，可应用于各种柔性薄膜，尤其是满足低温下对于阻变薄膜的疲劳性检测，以满足相应电子器件投入应用前的寿命的估测，保证产品的质量的测试仪器。
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公开(公告)号：CN109106458A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810861752.5
申请日：2018-08-01
Applicant: 东北大学 , 威海威高洁丽康生物材料有限公司
IPC: A61C8/00
Abstract: 本发明提供了一种牙种植体系统，包括：基台和种植体，所述基台通过内连接结构与所述种植体配合连接；所述内连接结构包括：设置在所述种植体内的第一torx配合体；设置在所述基台底部的第二torx配合体；所述第一torx配合体能够与所述第二torx配合体配合，使所述基台与所述种植体连接。本发明设计了种植体和基台的结构，保证形成紧固的连接；运用表面改性技术对种植体表界面进行处理，改善了骨结合的性能；从而提高种植体系统的寿命和可靠性。
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公开(公告)号：CN210065891U
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201920819678.0
申请日：2019-05-31
Applicant: 泰安东大新材表面技术有限公司 , 东北大学
Abstract: 本实用新型公开了一种小型可移动式等离子体表面改性设备，所述设备包括壳体，所述壳体内设置有真空反应装置、气瓶、偏压电源、控制器和真空泵等，所述真空反应装置内顶部设置有辅助电极，所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，所述基片台上设置有电极；通过在电极间加载较高的偏压，从而在极板间产生辉光放电，反应气体进入反应区，形成辉光等离子体，发生等离子体渗氧、渗氮或者薄膜沉积，完成材料表面改性；本实用新型所述等离子体表面改性设备可以在一个设备上实现离子渗氧或渗氮以及薄膜沉积过程，设备连续性较高，使用方便，生产效率高，而且所述设备结构紧凑、体积小，可以自由移动。
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