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公开(公告)号:CN1789971B
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200510125855.8
申请日:2005-11-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社拓普康
IPC: G01N15/06 , G01N15/02 , G01N21/49 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种能够精确地检测低速粒子数量的粒子检测方法,以及一种粒子检测设备。使用光接收感测器以预定时间间隔测量当发射入气流的光被粒子散射时所产生的散射光的强度。将用以测量散射光强度的测量周期分成每个定义为一预定周期的测量周期,并且在每个测量周期中选择一可测量所测量的散射光强度最大值的测量时间点。根据在每个测量周期选择的所测量的时间点对已自光接收感测器前方通过的粒子数量进行计数。
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公开(公告)号:CN1789971A
公开(公告)日:2006-06-21
申请号:CN200510125855.8
申请日:2005-11-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社拓普康
IPC: G01N15/06 , G01N15/02 , G01N21/49 , H01L21/3065
Abstract: 本发明涉及一种能够精确地检测低速粒子数量的粒子检测方法,以及一种储存用以实施该方法的程序的存储介质。使用光接收感测器以预定时间间隔测量当发射入气流的光被粒子散射时所产生的散射光的强度。将用以测量散射光强度的测量周期分成每个定义为一预定周期的测量周期,并且在每个测量周期中选择一可测量所测量的散射光强度最大值的测量时间点。根据在每个测量周期选择的所测量的时间点对已自光接收感测器前方通过的粒子数量进行计数。
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