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1.

外观设计
聚焦环有权

公开(公告)号：CN306024351S

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN201930258942.3

申请日：2019-05-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 佐佐木康晴 , 内田阳平 , 阿部晃 , 氏家智也

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：聚焦环。
2.本外观设计产品的用途：本产品用于将在腔室内生成的等离子体的分布从半导体晶片面上扩展至本产品上。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

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