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公开(公告)号：CN301605348S
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN201130035861.0
申请日：2011-03-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 1.外观设计产品的名称：微波导入用天线。2.外观设计产品的用途：本产品是在等离子体处理装置中所使用的微波导入用天线。高频电源所产生的微波通过导波管送入天线部，通过天线部中的该微波导入用天线将微波均匀地导入处理容器中。3.本外观设计的设计要点在于产品的形状和图案。4.指定图片：主视图。5.后视图与主视图对称，仰视图与俯视图对称，左视图与右视图对称，省略后视图、仰视图、左视图。
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