公开(公告)号：CN101250692B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810081713.X

申请日：2008-02-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 窪田光真 ,  田中雅之 ,  小泉雅人

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3205

Abstract: 本发明提供一种处理容器的大气开放方法，能够使在其中进行规定处理而附着有金属氟化物的处理容器向大气开放，该方法为，在反复多次进行第一操作后，反复多次进行第二操作，其中，所述第一操作为：向处理容器内导入大气，并保持充分的时间以使金属氟化物与大气中的水分反应，之后进行排气；所述第二操作为：向处理容器内导入大气并进行排气，将主要在第一操作中生成的反应生成物排出。利用该方法，当在处理容器内形成有由金属氟化物构成的副生成物时，能够几乎不产生HF等有毒气体而使处理容器向大气开放。

公开(公告)号：CN101250692A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200810081713.X

申请日：2008-02-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 窪田光真 ,  田中雅之 ,  小泉雅人

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3205

Abstract: 本发明提供一种处理容器的大气开放方法，能够使在其中进行规定处理而附着有金属氟化物的处理容器向大气开放，该方法为，在反复多次进行第一操作后，反复多次进行第二操作，其中，所述第一操作为：向处理容器内导入大气，并保持充分的时间以使金属氟化物与大气中的水分反应，之后进行排气；所述第二操作为：向处理容器内导入大气并进行排气，将主要在第一操作中生成的反应生成物排出。利用该方法，当在处理容器内形成有由金属氟化物构成的副生成物时，能够几乎不产生HF等有毒气体而使处理容器向大气开放。