公开(公告)号：CN105990088B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201610168860.5

申请日：2016-03-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 平野太一 ,  石桥淳治 ,  伊藤惠贵 ,  佐藤邦纮

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32577

Abstract: 本发明的电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法能够抑制电子相对伴随向下部电极的高频电力的供给在被处理体上产生的等离子体鞘的弹回而导致的上部电极侧的放电。电源系统包括：对用于载置被处理体的下部电极供给等离子体生成用的高频电力的高频电源；直流电源，对与下部电极相对地配置的上部电极供给负的第一直流电压或绝对值比第一直流电压的绝对值大的负的第二直流电压；控制部，执行电源控制处理，交替地反复供给高频电力和停止供给，在供给高频电力期间中的、自高频电力的供给开始时起的第一期间停止供给第一直流电压和第二直流电压，并在该期间中的除第一期间外的第二期间供给第一直流电压，在停止高频电力的供给期间供给第二直流电压。

公开(公告)号：CN105990088A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610168860.5

申请日：2016-03-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 平野太一 ,  石桥淳治 ,  伊藤惠贵 ,  佐藤邦纮

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32577 ,  H01J37/32027 ,  H01J2237/334

Abstract: 本发明的电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法能够抑制电子相对伴随向下部电极的高频电力的供给在被处理体上产生的等离子体鞘的弹回而导致的上部电极侧的放电。电源系统包括：对用于载置被处理体的下部电极供给等离子体生成用的高频电力的高频电源；直流电源，对与下部电极相对地配置的上部电极供给负的第一直流电压或绝对值比第一直流电压的绝对值大的负的第二直流电压；控制部，执行电源控制处理，交替地反复供给高频电力和停止供给，在供给高频电力期间中的、自高频电力的供给开始时起的第一期间停止供给第一直流电压和第二直流电压，并在该期间中的除第一期间外的第二期间供给第一直流电压，在停止高频电力的供给期间供给第二直流电压。