-
公开(公告)号:CN103180784B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201180052802.1
申请日:2011-08-30
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , G02F1/1333 , G03F7/023 , G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751
Abstract: 正型感光性组合物,为含有(A)碱可溶性树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂、和(D)金属螯合物的正型感光性组合物,其特征在于,(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构,(D)金属螯合物的含量,相对于(A)碱可溶性树脂100重量份为0.1~5重量份。提供具有高耐热性、高透明性的特点,进而显影密合性、耐湿热性优异的正型感光性组合物。
-
公开(公告)号:CN1782878A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510128535.8
申请日:2005-11-28
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L29/786 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0757 , C08K5/42 , G03F7/022 , C08L83/04
Abstract: 本发明提供高感光度的正型感光性硅氧烷组合物,以用于形成具备高耐热性、高透明性、低介电常数性的特性的、TFT衬底用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导路的芯或者包层材料。其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物,其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95%以上。
-
公开(公告)号:CN113474730B
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202080016528.1
申请日:2020-03-02
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种负型感光性树脂组合物,其解像度高且即便在150℃以下的低温下固化也可形成铅笔硬度高、耐化学品性、耐候性优异、可抑制电极或布线加工时外放气体产生的固化膜。本发明为一种负型感光性树脂组合物其含有:(A)具有自由基聚合性基的硅氧烷树脂;(B)具有自由基聚合性基的单体;以及(C)光自由基聚合引发剂,其在波长350~370的区域具有吸收峰,波长400下的吸光度为波长365下的吸光度的10%以下。
-
公开(公告)号:CN103180784A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201180052802.1
申请日:2011-08-30
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , G02F1/1333 , G03F7/023 , G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751
Abstract: 正型感光性组合物,为含有(A)碱可溶性树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂、和(D)金属螯合物的正型感光性组合物,其特征在于,(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构,(D)金属螯合物的含量,相对于(A)碱可溶性树脂100重量份为0.1~5重量份。提供具有高耐热性、高透明性的特点,进而显影密合性、耐湿热性优异的正型感光性组合物。
-
公开(公告)号:CN113474730A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202080016528.1
申请日:2020-03-02
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种负型感光性树脂组合物,其解像度高且即便在150℃以下的低温下固化也可形成铅笔硬度高、耐化学品性、耐候性优异、可抑制电极或布线加工时外放气体产生的固化膜。本发明为一种负型感光性树脂组合物其含有:(A)具有自由基聚合性基的硅氧烷树脂;(B)具有自由基聚合性基的单体;以及(C)光自由基聚合引发剂,其在波长350~370的区域具有吸收峰,波长400下的吸光度为波长365下的吸光度的10%以下。
-
公开(公告)号:CN102918460B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180028270.8
申请日:2011-06-02
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/075 , C08K3/28 , C08L83/00 , G02F1/1333 , G02F1/1368 , G03F7/004 , G03F7/023
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G77/02 , C08G77/14 , C08G77/80 , C09D183/06 , G03F7/0045 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , C08L83/00
Abstract: 感光性硅氧烷组合物,其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物。(式(1)中,R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的烯基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R1可以分别相同或不同,R2表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R2可以分别相同或不同,n表示0~3的整数。)(式(2)中,R3~R6分别独立地表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,p表示2~10的整数。)可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。。
-
公开(公告)号:CN101784958B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200880103680.2
申请日:2008-08-20
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08F299/00 , C08G77/14 , G02F1/1333 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/312 , C08G77/12 , C08G77/20 , C08G77/70 , C08K5/29 , C08L33/10 , C08L83/04 , G02B1/04 , G02B2006/12069 , G02F2001/133357 , G02F2202/023 , G03F7/0233 , G03F7/0388 , G03F7/0757 , C08L2666/04
Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物,含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂,其中,(a)聚硅氧烷与(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为聚硅氧烷/丙烯酸树脂=80/20~20/80,且(a)聚硅氧烷是可以通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷。(式中,R1表示氢原子、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的链烯基、碳原子数为6~15的芳基中的任一种,多个R1分别可以相同也可以不同。R2表示氢原子、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基中的任一种,多个R2分别可以相同也可以不同。n表示0~3的整数)。根据本发明,可以提供一种感光性组合物,该感光性组合物可用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导的芯和/或包覆材,并可以得到具有高耐热性、高透明性的特性、且与基板的粘附性良好的固化膜。
-
公开(公告)号:CN102918460A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201180028270.8
申请日:2011-06-02
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/075 , C08K3/28 , C08L83/00 , G02F1/1333 , G02F1/1368 , G03F7/004 , G03F7/023
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G77/02 , C08G77/14 , C08G77/80 , C09D183/06 , G03F7/0045 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , C08L83/00
Abstract: 感光性硅氧烷组合物,其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物。(式(1)中,R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的烯基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R1可以分别相同或不同,R2表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R2可以分别相同或不同,n表示0~3的整数。)(式(2)中,R3~R6分别独立地表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,p表示2~10的整数。)可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。。
-
公开(公告)号:CN1782878B
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN200510128535.8
申请日:2005-11-28
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L29/786 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0757 , C08K5/42 , G03F7/022 , C08L83/04
Abstract: 正型感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜、以及具备固化膜的元件;本发明提供高感光度的正型感光性硅氧烷组合物,以用于形成具备高耐热性、高透明性、低介电常数性的特性的、TFT衬底用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导路的芯或者包层材料。其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物,其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95%以上。
-
公开(公告)号:CN101784958A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200880103680.2
申请日:2008-08-20
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08F299/00 , C08G77/14 , G02F1/1333 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/312 , C08G77/12 , C08G77/20 , C08G77/70 , C08K5/29 , C08L33/10 , C08L83/04 , G02B1/04 , G02B2006/12069 , G02F2001/133357 , G02F2202/023 , G03F7/0233 , G03F7/0388 , G03F7/0757 , C08L2666/04
Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物,含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂,其中,(a)聚硅氧烷与(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为聚硅氧烷/丙烯酸树脂=80/20~20/80,且(a)聚硅氧烷是可以通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷。(式中,R1表示氢原子、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的链烯基、碳原子数为6~15的芳基中的任一种,多个R1分别可以相同也可以不同。R2表示氢原子、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基中的任一种,多个R2分别可以相同也可以不同。n表示0~3的整数)。根据本发明,可以提供一种感光性组合物,该感光性组合物可用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导的芯和/或包覆材,并可以得到具有高耐热性、高透明性的特性、且与基板的粘附性良好的固化膜。
-
-
-
-
-
-
-
-
-