公开(公告)号：CN112166297B

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN201980035511.8

申请日：2019-05-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 中岛健太 ,  内藤展宽

IPC: G01B11/06

Abstract: 一种测定方法和测定装置，其特征在于，利用传感器检测向构件表面的液膜照射光而得到的反射光，并通过使用了曲线拟合的光谱干涉法对检测到的反射光进行分析，由此测定液膜的厚度。能够定量且高精度地测定在各种形状的构件上形成的液膜的厚度。另外，通过基于使用本发明的测定方法和/或测定装置得到的结果，控制拉幅装置的夹轨上的液膜的厚度而制造薄膜，能够抑制与油、金属粉末的飞散相伴的次品的产生。

公开(公告)号：CN112166297A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201980035511.8

申请日：2019-05-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 中岛健太 ,  内藤展宽

IPC: G01B11/06

Abstract: 一种测定方法和测定装置，其特征在于，利用传感器检测向构件表面的液膜照射光而得到的反射光，并通过使用了曲线拟合的光谱干涉法对检测到的反射光进行分析，由此测定液膜的厚度。能够定量且高精度地测定在各种形状的构件上形成的液膜的厚度。另外，通过基于使用本发明的测定方法和/或测定装置得到的结果，控制拉幅装置的夹轨上的液膜的厚度而制造薄膜，能够抑制与油、金属粉末的飞散相伴的次品的产生。