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公开(公告)号：CN217019960U
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202220519187.6
申请日：2022-03-09
Applicant: 上海致领半导体科技发展有限公司
IPC: B24B53/017
Abstract: 本实用新型公开了一种具有超声波功能的抛光布修整盘，其结构包括超声波振子和减震组件，通过设置了超声波振子在不锈钢基座内侧，通过超声波振子在修整的过程中对抛光布起到清洁作用，减少抛光布上的结晶现象，有利于提高对修正盘对抛光布的清洗效果的同时提高抛光布的抛光效果，通过设置了固定机构在定位盘内部，通过双向螺纹柱对金刚石片和金刚石柱两者进行固定，并通过永磁体对金刚石片进行吸附动作，通过设置了减震组件在不锈钢基座内侧，通过限位板和减震弹簧对超声波振子进行安装限位和减震动作，避免出现超声波振子工作时因抛光液流动而带动整体修整盘振动。
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公开(公告)号：CN217019959U
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202220513479.9
申请日：2022-03-09
Applicant: 上海致领半导体科技发展有限公司
IPC: B24B53/017
Abstract: 本实用新型公开了一种具有超声波功能的抛光布刷盘，包括抛光布刷盘、安装孔、清理刷毛、超声波振子，通过设置了超声波振子增加了超声波功能，在刷洗机运行时超声波振子上的超声波震动传导头会提高刷洗机产生的振幅，超声波震动传导头提高后的振幅会通过超声波扩散底座传导到抛光布刷盘上带动抛光布刷盘振动，抛光布刷盘振动会带动清理刷毛振动，通过超声波产生的高频振动，使得清理刷毛在刷洗时候产生高频振动，提高了对抛光垫的刷洗和修整效果，从而提高了抛光材料的抛光效率。
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公开(公告)号：CN217019893U
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202220518216.7
申请日：2022-03-09
Applicant: 上海致领半导体科技发展有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种使用双面抛光机实现单面抛光的抛光装置，包括上抛光板、上抛光垫、行星轮结构和从动下盘结构，通过设置了从动下盘结构，从动下盘结构的底盘外侧设置有第二外驱动轮，从动下盘结构的第二外驱动轮和行星轮的第一外驱动轮的外径一直，且从动下盘结构的第二外驱动轮和行星轮的第一外驱动轮的卡齿数量大小一致，使外部驱动齿轮可同时驱动第二外驱动轮和第一外驱动轮进行转动，且在底盘内部设置了陶瓷支撑盘，通过陶瓷支撑盘对抛光物件底部进行支撑，且陶瓷支撑盘跟随抛光物件进行转动，保持了双面抛光的精度，且对物体进行单面抛光，使双面抛光设备在需要对物体进行单面抛光时，只需将下抛光盘更换为从动下盘结构。
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