公开(公告)号：CN107331929A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710675174.1

申请日：2017-08-09

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司

发明人： 高玉桥 ,  孙效义 ,  连海洲

IPC分类号： H01P5/103 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01P5/103 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4607

摘要： 本发明公开了一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。该波导同轴转换器有效地解决了微波等离子体系统使用稳定性较差等问题。本发明还公开了一种包括上述波导同轴转换器的微波等离子体系统。

公开(公告)号：CN206992279U

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201720989624.X

申请日：2017-08-09

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司

发明人： 高玉桥 ,  孙效义 ,  连海洲

IPC分类号： H01P5/103 ,  H05H1/46

摘要： 本实用新型公开了一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。该波导同轴转换器有效地解决了微波等离子体系统使用稳定性较差等问题。本实用新型还公开了一种包括上述波导同轴转换器的微波等离子体系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利