基于光栅SPR强耦合效应的自参考SPR传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119780044A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411816588.8

    申请日:2024-12-10

    Abstract: 本发明实施例公开了一种基于光栅SPR强耦合效应的自参考SPR传感器及其制备方法,该传感器依次包括光栅层、基底层和金膜层;其中光栅层设置在基底层的一侧,为多个并列的光栅,与基底层具有相同的材料;金膜层,沉积在基底层远离光栅层的一侧;SPR传感器还具有聚苯乙烯传感层,聚苯乙烯传感层贴附在金膜层远离所述基底层的一面。本发明无需使用棱镜,具有体积小,易于集成等优势;采用背照光栅的形式,具有平坦的传感界面,便于测量;叠加聚苯乙烯传感层,在折射率传感的基础上,还能具有压力检测的功能;具有自参考功能,能够根据参考倾角重新校准传感器的整体响应,大大减少了由于不稳定环境造成的误差。

    一种湿度传感装置和系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117110245A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310852219.3

    申请日:2023-07-11

    Abstract: 本发明实施例公开了一种湿度传感装置和系统,所述湿度传感装置包括棱镜、金属膜、增敏层和传感层。其中,光线射入棱镜激发金属膜的表面产生表面等离子共振现象,此现象可随传感层吸收的水分的量而发生变化。增敏层提升湿度传感装置的灵敏度。传感层捕捉空气中的水的同时与金属膜发生强耦合效应,使原本的单SPR共振峰转化为相干双峰。使用者使用上述效应设计比例型SPR湿度传感装置,消除湿度检测时的误差,便于计算并增强数据的可靠性。此外,传感层利用自身结构特点对其他结构进行保护。本发明通过上述设置,提供一种具有较高测量精度以及可靠度,并且整体结构不易损坏的湿度检测装置。

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