一种基片承载装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103132043B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201310087567.2

    申请日:2013-03-18

    Abstract: 本发明提供一种安装在真空镀膜机的转动轴上的基片承载装置,其特征在于,具有:连接单元,与转动轴相连;和基片承载单元,与连接单元卡合相连,包括定位台和与定位台固定相连的基片承载架,其中,定位台含有定位台本体和设置在该定位台本体上的卡槽,连接单元含有与转动轴相匹配的转动轴连接部和与基片承载单元相匹配的基片承载单元连接部,该基片承载单元连接部包含具有凹槽和设置在该凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的连接部本体和安装在连接部本体上的卡紧机构,凹槽与定位台本体相嵌合,卡紧机构含有安装在凸槽内的锁舌、用于推动锁舌进入卡槽内的推力构件以及用于拉动锁舌离开卡槽的拉柄。

    一种负反馈风阀装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103148568B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201310105066.2

    申请日:2013-03-28

    Abstract: 本发明的一种负反馈风阀装置,安装在通风管道的内部,用于对从通风管道前端的进风口进入的风量和风速的大小进行调节,从而使得从通风管道后端的送风口送出的送出风风速和风量恒定,其特征在于,具有:第一调节部,用于调节风速和风量,包括:复数个叶片构件、左侧安装板、右侧安装板以及传动板,叶片构件含有一个叶片、两个转动轴和连接杆;推拉部,用于对传动板进行推拉从而带动复数个叶片构件同时进行开合;受风部,用于感受通过第一调节部的风速和风量,并驱动推拉部对传动板进行推拉,含有翼型浮子和浮子连接构件;以及导向部,使浮子连接杆定向地在垂直方向进行移动。

    自适应气体恒流量阀门
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203656299U

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201420007225.5

    申请日:2014-01-07

    Abstract: 本实用新型涉及一种自适应气体恒流量阀门,阀体上端面中部通过支撑杆活动连接连杆,阀体上端面后部开一横槽,阀体内部设有风力感应板,风力感应板背面与顶杆相连接,顶杆穿过阀体上端面和弹簧座后与连杆一端活动连接,顶杆上部固定连接圆形板,圆形板与弹簧座之间装有弹簧,且弹簧上、下端分别与圆形板和弹簧座固定连接,连杆另一端活动连接挡风板拉杆,挡风板拉杆下端固定连接挡风板,挡风板与阀体上端面的横槽配合连接。该阀门根据风速的变化自动调节阀体横截面积的大小,当进风口风速增大时,减小阀体的横截面积。当进风口风速减小时,则增大阀体横截面积。这样,无论进口风速如何变化,阀体的出口处的流量基本维持不变。

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