带楔形波导层导模共振滤波片的微型光谱仪

    公开(公告)号:CN105606219B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201610088442.5

    申请日:2016-02-17

    Abstract: 本发明涉及一种楔形波导层导模共振滤波片微型光谱仪,包括复光光源、准直扩束系统、偏振片、半透半反镜、楔形波导层导模共振滤波片、面阵探测器,复色光源出射光经过准直扩束系统后输出平行光,再经过偏振片输出偏振光,偏振光投射到45度倾斜角的半透半反镜上,反射光垂直打在楔形波导层导模共振滤波片上,经过楔形波导层导模共振滤波片反射回来的光再次经过半透半反镜透射出去,由面阵探测器接收被楔形波导层导模共振滤波片反射的波段范围内的连续光谱面信息,实现线偏振态下的光谱分析。本发明结构简单、体积小、价格低廉,可实现连续光谱信息的采集。同时,满足某些物质分析对偏振态下的需求,实现物质的精准分析。

    利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法

    公开(公告)号:CN105806263A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610261026.0

    申请日:2016-04-25

    CPC classification number: G01B11/27

    Abstract: 一种利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法,涉及光学器件技术领域,所解决的是无法利用精密导轨刻划中阶梯光栅的技术问题。该方法先测量出精密导轨的直线度累积误差数据,再根据测得的数据绘制出精密导轨直线度累积误差曲线,再根据精密导轨直线度累积误差曲线建立一个一次补偿方程;然后再根据一次补偿方程,测量以一次补偿函数为步进值的精密导轨所刻划出的中阶梯光栅的衍射波前数据,并根据测得的数据绘制出该中阶梯光栅的衍射波前曲线;然后再根据中阶梯光栅的衍射波前曲线,建立一个二次补偿方程;然后采用以二次补偿函数为步进值的精密导轨刻划中阶梯光栅成品。本发明提供的方法,刻划出的中阶梯光栅具有较好的衍射波面。

    基于拉伸PDMS光栅调控光栅周期变化率的方法

    公开(公告)号:CN106405704A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201611138716.3

    申请日:2016-12-12

    CPC classification number: G02B5/1847 G02B5/1857

    Abstract: 本发明涉及一种基于拉伸PDMS光栅调控光栅周期变化率的方法,制作基于PDMS的变周期光栅:用光刻或机械刻化制作母模版光栅;将制作的母模版光栅上的光栅图案转移到PDMS薄膜上;对制作后基于PDMS的变周期光栅进行拉伸:将制作后PDMS薄膜平整在夹持在一维平移拉伸台上,薄膜一端固定,另一端夹持在可移动平台上,沿着垂直于光栅栅线的方向在PDMS弹性范围内拉伸一定的长度;对拉伸后变周期光栅进行检测:检测拉伸后的PDMS薄膜的线密度,在薄膜中间区域内,光栅线密度的分布呈线性变化;调节等腰梯形PDMS薄膜的底角并在相同的载荷再拉伸,得到不同的呈线性变化的光栅线密度的分布。工艺简单,可控性高,制作成本低、周期短。

    单槽双闪耀角光栅制备方法

    公开(公告)号:CN105700052A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201610258772.4

    申请日:2016-04-25

    CPC classification number: G02B5/1847 G02B5/1852

    Abstract: 一种单槽双闪耀角光栅制备方法,涉及光学器件技术领域,所解决的是简化光谱仪器结构,降低光谱仪器成本的技术问题。该方法先获取被测产品中的两种被测物质的特征光谱,并计算出该两种被测物质的特征光谱的光栅闪耀角度;再在金刚石刻刀的刀刃上研磨出两种被测物质的特征光谱的光栅闪耀角;然后再利用研磨所得的金刚石刻刀及光栅机械刻划机,将镀有反射膜的光栅基片刻制成单槽双闪耀角光栅。本发明提供的方法,能制备出具有双闪耀现象的光栅。

    低线密度光栅曝光系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105607432A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610014216.2

    申请日:2016-01-11

    CPC classification number: G03F7/2006 G02B5/18

    Abstract: 一种低线密度光栅曝光系统,涉及光学系统技术领域,所解决的是全息光栅小角度近距离曝光的技术问题。该系统包括激光发射器、分束镜、第一反光镜、第二反光镜、镀膜板;所述镀膜板是一透明平板玻璃,镀膜板的正面贴附有增透膜,镀膜板的反面贴附有半透半反膜,并且半透半反膜的反射面朝外;该系统具有一个曝光工位,该系统的光路结构为:从激光发射器出发后进入分束镜,再由分束镜分成两条光路,其中的第一条光路从分束镜出发,再穿过镀膜板后到达曝光工位;第二条光路则依次经第一反光镜、第二反光镜射入镀膜板的反面,再由镀膜板反射后到达曝光工位。本发明提供的系统,可用于曝光制作低线密度凹面光栅或平面光栅。

    带楔形波导层导模共振滤波片的微型光谱仪

    公开(公告)号:CN105606219A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610088442.5

    申请日:2016-02-17

    CPC classification number: G01J3/447

    Abstract: 本发明涉及一种楔形波导层导模共振滤波片微型光谱仪,包括复合光源、准直扩束系统、偏振片、半透半反镜、楔形波导层导模共振滤波片、面阵探测器,复色光源出射光经过准直扩束系统后输出平行光,再经过偏振片输出偏振光,偏振光投射到45度倾斜角的半透半反镜上,反射光垂直打在楔形波导层导模共振滤波片上,经过楔形波导层导模共振滤波片反射回来的光再次经过半透半反镜透射出去,由面阵探测器接收被楔形波导层导模共振滤波片反射的波段范围内的连续光谱面信息,实现线偏振态下的光谱分析。本发明结构简单、体积小、价格低廉,可实现连续光谱信息的采集。同时,满足某些物质分析对偏振态下的需求,实现物质的精准分析。

    利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法

    公开(公告)号:CN105806263B

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201610261026.0

    申请日:2016-04-25

    Abstract: 一种利用精密导轨刻划中阶梯光栅的直线度误差补偿方法,涉及光学器件技术领域,所解决的是无法利用精密导轨刻划中阶梯光栅的技术问题。该方法先测量出精密导轨的直线度累积误差数据,再根据测得的数据绘制出精密导轨直线度累积误差曲线,再根据精密导轨直线度累积误差曲线建立一个一次补偿方程;然后再根据一次补偿方程,测量以一次补偿函数为步进值的精密导轨所刻划出的中阶梯光栅的衍射波前数据,并根据测得的数据绘制出该中阶梯光栅的衍射波前曲线;然后再根据中阶梯光栅的衍射波前曲线,建立一个二次补偿方程;然后采用以二次补偿函数为步进值的精密导轨刻划中阶梯光栅成品。本发明提供的方法,刻划出的中阶梯光栅具有较好的衍射波面。

    楔形滤波片及其制备方法

    公开(公告)号:CN105676333A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610160085.9

    申请日:2016-03-21

    CPC classification number: G02B5/285

    Abstract: 本发明实现了厚度线性变化的楔形波导片加工,从而实现输出一定波段的谱面的效果,也实现了输出一定光谱范围内的连续光谱。将本发明实施例的新型楔形滤波片用于光谱仪作为分光元件,还可以制作超微型光谱仪。根据本发明的用于输出一定光谱范围内的连续光谱的楔形滤波片,其包括基片、均匀分布在所述基片上且厚度呈线性变化纵截面形状为楔形的楔形波导薄膜层、以及形成在所述波导薄膜层上的光栅,所以,本发明的楔形滤波片具有输出一定光谱范围内的连续光谱的作用。

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