公开(公告)号：CN118362036A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202310061745.8

申请日：2023-01-17

申请人： 上海理工大学

发明人： 申慧敏 ,  顾晓伟 ,  刘龙胤 ,  郜槟

IPC分类号： G01B7/24 ,  G06T17/00 ,  G06T7/10

摘要： 超洁净流控元件作为刻蚀机、清洗机等各类IC装备广泛使用的共性基础件，是IC制造系统的核心基础件。本发明公开了一种磁膜可视化标记超洁净柔性部件变形场重构技术：步骤1，设计磁膜覆盖超洁净柔性部件结构，磁膜变形引起周围的激励磁场变化，磁场传感器阵列检测到磁膜激励产生的磁场分布信息，生成磁场检测传感器阵列位置上磁场分布信息的可视化数据；步骤2，将可视化数据进行插值运算，获得磁场检测传感器阵列位置上磁场可视化图像信息，将图像信息中像素位置与传感器阵列空间位置关联，通过可视化图像处理算法获得柔性部件在传感器阵列平面上的投影边界，构建所得柔性部件投影边界与柔性部件空间变形场的映射关系，进行柔性部件变形场重构。

公开(公告)号：CN117554465B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202410042352.7

申请日：2024-01-11

申请人： 上海理工大学

发明人： 申慧敏 ,  刘龙胤 ,  顾晓伟

IPC分类号： G01N27/72 ,  G01B7/24 ,  G06T7/00 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08

摘要： 本申请提供一种柔性部件监测方法、系统、介质及电子设备，应用于超洁净流控元件，超洁净流控元件包括柔性部件；所述柔性部件监测方法包括：获取柔性磁膜的目标磁场强度数据；目标磁场强度数据包括多个目标磁场强度；柔性磁膜在不影响柔性部件正常工作的前提下，与柔性部件贴合；柔性磁膜的形变与柔性部件的形变保持一致；根据多个目标磁场强度对柔性磁膜的变形场进行重构，以间接实现对柔性部件的监测；本申请提供了一种柔性部件的监测方法，通过使该柔性磁膜的形变与该柔性部件的形变保持一致，进而通过获取柔性磁膜对应不同离散测量点下的磁场强度，实现对柔性磁膜变形场进行重构，从而间接实现对柔性部件的监测。

公开(公告)号：CN117554465A

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202410042352.7

申请日：2024-01-11

申请人： 上海理工大学

发明人： 申慧敏 ,  刘龙胤 ,  顾晓伟

IPC分类号： G01N27/72 ,  G01B7/24 ,  G06T7/00 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08

摘要： 本申请提供一种柔性部件监测方法、系统、介质及电子设备，应用于超洁净流控元件，超洁净流控元件包括柔性部件；所述柔性部件监测方法包括：获取柔性磁膜的目标磁场强度数据；目标磁场强度数据包括多个目标磁场强度；柔性磁膜在不影响柔性部件正常工作的前提下，与柔性部件贴合；柔性磁膜的形变与柔性部件的形变保持一致；根据多个目标磁场强度对柔性磁膜的变形场进行重构，以间接实现对柔性部件的监测；本申请提供了一种柔性部件的监测方法，通过使该柔性磁膜的形变与该柔性部件的形变保持一致，进而通过获取柔性磁膜对应不同离散测量点下的磁场强度，实现对柔性磁膜变形场进行重构，从而间接实现对柔性部件的监测。