公开(公告)号：CN115598870A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202110776036.9

申请日：2021-07-08

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司(CN)

Inventor： 宋若谷 ,  蔡艳 ,  余明斌

IPC: G02F1/035

Abstract: 本申请提供一种电光调制器及其制造方法，该电光调制器包括：多模干涉波导；输入波导；输出波导；第一相移波导；第一光反射结构；第二相移波导；第二光反射结构；平板区；覆盖层；以及电极，其设置于所述覆盖层表面，并贯穿所述覆盖层与所述平板区电接触，其中，所述第一相移波导和所述第二相移波导中的至少一者包括：两个以上的直线延伸部，各所述直线延伸部与所述第一方向平行，并且，在所述基板的横向上，两个以上的所述直线延伸部沿与所述第一方向垂直的第二方向分布；以及连接部，其连接所述第二方向上相邻的两个直线延伸部的端部。本申请能够降低电光调制器的尺寸，并且提高电光调制器的带宽。

公开(公告)号：CN111326533B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN201811533861.0

申请日：2018-12-14

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司(CN)

Inventor： 汪巍 ,  方青 ,  余明斌

IPC: H01L27/144 ,  H01L31/105 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种波导集成型光电探测器及其制作方法，该探测器包括光电探测器及光循环结构，光循环结构包括n个模式转换反向器，模式转换反向器包括TEi‑TEj非对称定向耦合器、反向器及TEj‑TEi+1非对称定向耦合器，用于实现TEi‑TEi+1模式光之间的转换及光的反向，通过引入n个模式转换反向器，可以实现光的n+1次循环利用。在光经过n+1次循环后，通过引入TEn‑TEk非对称定向耦合器及环形反向器实现TEn模式光的反向，TEn光再次进入探测器，进而再次通过n个模式转换反向器，再次实现光的n次循环。本发明能够实现更高效的光吸收效率，有效减小探测器长度，减小器件尺寸，更容易实现低暗电流、低电容和高响应度光电探测器的制备，且光学带宽大，对波导尺寸、温度不敏感，工艺容差大。

公开(公告)号：CN115598867A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202110780879.6

申请日：2021-07-09

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司(CN)

Inventor： 王庆 ,  蔡艳 ,  汪巍 ,  余明斌

IPC: G02F1/01

Abstract: 本申请提供一种光学相控阵及其制造方法，该光学相控阵包括：分束器，其将输入的光分为多个光束，并通过至少两个分束器输出波导输出该多个光束，该分束器输出波导为第一材料形成；移相器阵列，其包括至少两个移相器波导，各该移相器波导与该分束器的各该分束器输出波导耦合，并调整从该分束器输出波导接收到的光的相位，在垂直于该基板的表面的方向上，该移相器波导与该分束器输出波导之间具有第一间隙，该移相器波导为第二材料形成，该第二材料不同于该第一材料；以及发射器阵列，其与该移相器阵列耦合，将经过该移相器阵列调整相位后的光向外发射。本申请能够利用不同材料的特点，不仅提高输出光功率，降低传输损耗，而且，降低移相器的功耗。